[发明专利]一种散热结构及其制备方法在审
| 申请号： | 201710657154.1 | 申请日： | 2017-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN107611106A | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 王新华 | 申请（专利权）人： | 深圳市科益实业有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/373 | 分类号： | H01L23/373;H01L21/48 |
| 代理公司： | 深圳精智联合知识产权代理有限公司44393 | 代理人： | 夏声平 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 散热 结构 及其 制备 方法 | ||
1.一种散热结构，其特征在于，从内至外包括：导热层、纳米绝热层和类金刚石薄膜层。
2.根据权利要求1所述散热结构，其特征在于，所述纳米绝热层的材质为纳米微孔SiO2玻璃球与4-甲基戊烯聚合物形成的复合材料，所述纳米微孔SiO2玻璃球与所述4-甲基戊烯聚合物的体积比为5～10％：1。
3.根据权利要求2所述散热结构，其特征在于，所述纳米微孔SiO2玻璃球的粒径为1～100μm，孔径为1～6nm。
4.根据权利要求1或2或3所述散热结构，其特征在于，所述纳米绝热层厚度为10～500μm。
5.根据权利要求1所述散热结构，其特征在于，所述导热层的材质为Ag或Al或Cu，厚度为0.5～10μm。
6.根据权利要求1所述散热结构，其特征在于，所述类金刚石薄膜层厚度不大于10μm。
7.一种散热结构的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
提供一金属导热层；
将纳米微孔SiO2玻璃球与4-甲基戊烯聚合物混合，喷涂在所述导热层的表面，固化后形成纳米绝热层；其中，述纳米微孔SiO2玻璃球与所述4-甲基戊烯聚合物的体积比为5～10％：1；
利用微波等离子体化学气相沉积方法，在反应腔中通入甲烷、氢气和氧气的混合气体，控制温度400℃、功率1.5kw～4kw,气压20～45mbar，在所述纳米绝热层上形成类金刚石薄膜层。
8.根据权利要求6所述散热结构的制备方法，其特征在于，所述混合气体中：所述甲烷、氢气和氧气分别为12sccm、400sccm、4sccm。
9.根据权利要求6所述散热结构的制备方法，其特征在于，所述类金刚石薄膜的镀膜时间为60min。
10.根据权利要求6所述散热结构的制备方法，其特征在于，所述微波等离子体化学气相沉积方法中，控制微波频率为915MHz。
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