[发明专利]改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法有效

专利信息
申请号: 201710649943.0 申请日: 2017-08-02
公开(公告)号: CN107283075B 公开(公告)日: 2019-01-15
发明(设计)人: 袁朝煜 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: B23K26/38 分类号: B23K26/38;B23K26/18;B23K35/22
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 导热缓冲层 第一区域 第二区域 汽化 显示面板 倒角区域 激光切割工艺 激光 激光作用 切割缝隙 切割过程 表面形成 不良现象 热应力 微裂纹 发射 倒角 切割 融化
【权利要求书】:

1.一种改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法,其特征在于,包括如下步骤:

在显示面板的倒角区域的表面形成一导热缓冲层,所述导热缓冲层包括第一区域及设置在所述第一区域两侧的第二区域,所述第一区域的导热缓冲层的厚度小于所述第二区域的导热缓冲层的厚度;

发射激光,所述激光作用在所述第一区域,所述第一区域及所述第二区域的导热缓冲层汽化,所述第一区域的导热缓冲层完全汽化,所述第二区域的导热缓冲层部分汽化,使得所述激光作用在第一区域对应的显示面板上;

继续发射激光,所述激光继续切割所述显示面板,在切割过程中,剩余的所述第二区域的导热缓冲层融化并流入切割缝隙中,且在切割过程中,流入切割缝隙中的导热缓冲层汽化;

形成具有倒角的显示面板。

2.根据权利要求1所述的改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法,其特征在于,所述导热缓冲层由有机材料及金属材料构成。

3.根据权利要求2所述的改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法,其特征在于,所述有机材料选自于酰亚胺,丙烯酸,聚乙烯及聚丙烯酸酯中的一种或几种。

4.根据权利要求2所述的改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法,其特征在于,所述金属材料选自于Mo、Ta、Ti、Fe、Ni、Cu、Al及Nb中的一种或几种。

5.根据权利要求1所述的改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法,其特征在于,所述导热缓冲层在激光的作用下,吸收所述激光的能量,先融化再汽化。

6.根据权利要求1所述的改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法,其特征在于,所述导热缓冲层的宽度大于所述倒角区域的宽度。

7.根据权利要求1所述的改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法,其特征在于,在显示面板的倒角区域的表面的形成一导热缓冲层的步骤中,采用高温涂覆、化学气相沉积、物理气相沉积的工艺形成所述导热缓冲层。

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