[发明专利]一种反射式空间光束偏振分布调控器件

权利要求书

1.一种反射式空间光束偏振分布调控器件，包括：衬底、金属反射层、介质层和金属天线层；

所述金属反射层，形成于衬底之上，用于将入射到金属反射层上的光完全反射；

所述介质层，形成于金属反射层之上，介质层在入射光的工作波段透明，用于隔离所述金属反射层和金属天线层；

所述金属天线层，形成于介质层之上，用于旋转入射光的偏振方向；

其中，金属天线层、介质层、金属反射层之间构成反射式谐振腔，用于对入射光束进行空间偏振分布变换。

2.如权利要求1所述的反射式空间光束偏振分布调控器件，其特征在于，所述金属反射层为厚度为100nm以上的金属膜。

3.如权利要求1所述的反射式空间光束偏振分布调控器件，其特征在于，所述金属天线层为金属天线构成的周期性阵列。

4.如权利要求3所述的反射式空间光束偏振分布调控器件，其特征在于，所述金属天线的形状关于入射光偏振方向及与入射光偏振正交的方向不对称，用于对入射光产生偏振旋转。

5.如权利要求3或4所述的反射式空间光束偏振分布调控器件，其特征在于，所述反射式谐振腔用于将入射光转换成径向偏振矢量光束或角向偏振矢量光束。

6.如权利要求3或4所述的反射式空间光束偏振分布调控器件，其特征在于，反射式空间光束偏振分布调控器件被分成N块区域，每块区域的偏振旋转角度为0°到360°之间的任意值。

7.如权利要求6所述的反射式空间光束偏振分布调控器件，其特征在于，偏振旋转角度不同的区域的金属天线形状互不相同，不同形状的金属天线的周期性阵列与介质层、金属反射层组成的反射式谐振腔对入射光束的偏振旋转角度不同。

8.如权利要求1所述的反射式空间光束偏振分布调控器件，其特征在于，介质层的材料为二氧化硅、厚度为300nm。

9.如权利要求1所述的反射式空间光束偏振分布调控器件，其特征在于，其工作波长由可见光到微波波段。

10.如权利要求1至9任一项权利要求所述的反射式空间光束偏振分布调控器件，其特征在于，反射式空间光束偏振分布调控器件的转换效率为90％以上的。