[发明专利]一种干法蚀刻设备的尾气处理装置

权利要求书

1.一种干法蚀刻设备的尾气处理装置，其特征在于，包括：第一输入部、第二输入部以及空气动力学管路；

所述第一输入部和所述第二输入部通过所述空气动力学管路相连通，所述第一输入部和所述第二输入部中排出的气体通过所述空气动力学管路向外排出；

所述第一输入部包括制程腔、第一干泵、燃烧室、水箱、水洗塔、汽水分离器、第一排气管路以及至少两个调节阀，所述第一排气管路中的气体为预定湿度、预定酸度且含粉尘的废气；

所述第二输入部包括第二干泵、基板载入载出室、第二排气管路以及至少两个调节阀，所述第二排气管路中的气体为压缩空气或者氮气，所述压缩空气或氮气为具有预定流速、湿度为零的气体。

2.根据权利要求1所述的干法蚀刻设备的尾气处理装置，其特征在于，所述空气动力学管路为文丘里管。

3.根据权利要求2所述的干法蚀刻设备的尾气处理装置，其特征在于，所述文丘里管包括第一进口、第二进口以及第一出口；

所述第一进口与所述第一输入部相连，所述第二进口与所述第二输入部相连；

从所述第二进口至所述第一进口为所述文丘里管的第一收缩段，所述第一进口至所述第一出口为所述文丘里管的第一扩张段。

4.根据权利要求1所述的干法蚀刻设备的尾气处理装置，其特征在于，所述汽水分离器为填充式汽水分离器，所述汽水分离器内部装有吸附气体中水蒸气的填料。

5.根据权利要求1所述的干法蚀刻设备的尾气处理装置，其特征在于，所述水洗塔采用喷淋的方式吸收从所述燃烧室中排出的气体。

6.根据权利要求1所述的干法蚀刻设备的尾气处理装置，其特征在于，所述第一干泵及所述第二干泵为一机械泵，且所述第一干泵及所述第二干泵为所述制程腔提供干净的真空环境。