[发明专利]具有连接头的质谱检漏设备

权利要求书

1.一种具有连接头的质谱检漏设备，用于检测待测箱体的气密性，其特征在于，其包括真空腔体、示踪气体源及连接头，所述真空腔体内设置有用于容纳所述待测箱体的容纳腔，所述示踪气体源用于为所述待测箱体提供示踪气体；所述连接头与所述真空腔体相连并与所述示踪气体源导通连接，用于将所述示踪气体源内的示踪气体导入所述容纳腔中的所述待测箱体内；

所述连接头包括外套管、限位套管、弹性密封套、限位盖及活塞，所述限位套管的一端插设在所述外套管内，所述限位套管的另一端延伸至所述外套管外，所述弹性密封套插设在所述限位套管内，所述限位盖盖设在所述限位套管背向所述外套管的一端，以阻碍所述弹性密封套朝背向所述外套管的方向运动；所述活塞包括中空的塞柱及位于所述塞柱外周面处的阻挡部，所述塞柱的一端活动插设在所述外套管内，所述塞柱的另一端活动插设在所述限位套管内，所述外套管的管壁处设置有导气孔，所述导气孔的一端与所述外套管的外表面相连通，所述导气孔的另一端与所述外套管的内壁面相连通并位于所述阻挡部背向所述弹性密封套的一侧，所述导气孔用于在将压缩气体通过所述导气孔注入所述外套管内时，所述压缩气体推动所述活塞朝所述弹性密封套运动，所述弹性密封套受到所述活塞挤压而变形。

2.根据权利要求1所述的具有连接头的质谱检漏设备，其特征在于，所述连接头还包括缓冲垫，所述缓冲垫套设在所述塞柱上并位于所述限位套管的端面及所述阻挡部之间。

3.根据权利要求2所述的具有连接头的质谱检漏设备，其特征在于，所述缓冲垫及所述阻挡部均呈环形，所述缓冲垫面向所述阻挡部的端面与所述阻挡部相贴合；当所述弹性密封套受到所述活塞的挤压而呈压缩状态时，所述缓冲垫面向所述限位套管的端面与所述限位套管弹性抵接，当所述弹性密封套完全伸开时，所述缓冲垫面向所述限位套管的端面与所述限位套管间隔预设距离。

4.根据权利要求1至3任一项所述的具有连接头的质谱检漏设备，其特征在于，所述连接头还包括环形的垫圈，所述垫圈位于所述弹性密封套与所述活塞之间，所述垫圈的一端端面与所述弹性密封套相抵接，所述垫圈的另一端端面与所述活塞相抵接。

5.根据权利要求3所述的具有连接头的质谱检漏设备，其特征在于，所述外套管内设置有同轴设置的第一容纳腔及第二容纳腔，所述第一容纳腔的横截面积大于所述第二容纳腔的横截面积，所述塞柱的一端插设在所述限位套管内，所述塞柱的另一端插设在所述第二容纳腔内，所述阻挡部位于所述第一容纳腔内。

6.根据权利要求5所述的具有连接头的质谱检漏设备，其特征在于，所述塞柱的一端外周面处设置环形的第一容纳槽，所述塞柱的另一端外周面处设置有环形的第二容纳槽，所述第一容纳槽内插设有与所述限位套管弹性抵接的第一密封圈，所述第二容纳槽内插设有与所述第二容纳腔的腔壁弹性抵接的第二密封圈，所述阻挡部的外周面设置有第三容纳槽，所述第三容纳槽内插设有与所述第一容纳腔的腔壁弹性抵接的第三密封圈。

7.根据权利要求1至3任一项所述的具有连接头的质谱检漏设备，其特征在于，所述连接头还包括接头，所述接头设置有第一穿孔及第二穿孔，所述第一穿孔沿所述接头的纵向延伸设置并贯穿所述接头位置相对的两端面，所述第一穿孔与所述外套管及活塞导通连接，用于导入示踪气体，所述第二穿孔设置于所述接头的侧壁上。

8.根据权利要求1至3任一项所述的具有连接头的质谱检漏设备，其特征在于，所述连接头还包括固定板、固定座及固定箍，所述固定板固定在所述真空腔体上，所述固定座固定在所述固定板上，所述固定座设置有固定槽，所述外套管插设在所述固定槽内并延伸至所述固定槽外，所述固定箍的两端均固定在所述固定座上并分别位于所述固定槽位置相对的两侧，所述固定箍包覆在所述外套管裸露于所述固定槽外的侧面上。