[发明专利]能够控制输出电流的供电装置及利用其的供电方法

权利要求书

1.一种能够控制输出电流的供电装置，用于在等离子体发生器内维持等离子体，其特征在于，包括：

开关电源，包括整流器、逆变器及移相器；

变压器，包括铁氧体磁芯和初级绕组，所述铁氧体磁芯设置于所述等离子体发生器，所述初级绕组与所述开关电源相连接并且卷绕于所述铁氧体磁芯；

共振网络，连接在所述开关电源与所述等离子体源之间，包括共振电感器及共振电容器，所述共振电感器与初级绕组串联，所述共振电容器与所述等离子体源并联并与所述共振电感器串联；以及

控制部，为了对向所述共振网络提供的电压及电流进行相移而对所述开关电源进行控制，

其中所述共振网络进一步包括附加电感器，所述附加电感器包括一端与所述共振电容器串联且另一端接地连接以增加所述逆变器的零电压开关(zvs)的频率范围。

2.根据权利要求1所述的能够控制输出电流的供电装置，其特征在于，所述逆变器包括半桥逆变器。

3.根据权利要求1所述的能够控制输出电流的供电装置，其特征在于，所述逆变器包括全桥逆变器。

4.一种利用能够控制输出电流的供电装置的供电方法，用于在等离子体发生器内维持等离子体，其特征在于，包括：

形成开关电源、等离子体源、共振网络的步骤，所述开关电源包括整流器、逆变器及移相器，所述等离子体源用于在等离子体发生器内部生成等离子体，所述共振网络包括共振电感器及共振电容器，所述共振电感器连接在所述开关电源与所述等离子体源之间，与初级绕组串联，所述共振电容器与所述等离子体源并联且与所述共振电感器串联；

通过控制部确认在所述共振网络中能够输出最大输出电流的所述共振电感器和所述共振电容器值的步骤；

通过所述控制部确认在所述共振网络中能够输出最小输出电力的最大相移角度的步骤；

在所述最大相移角度中确认能够进行零电压开关的所述逆变器的电压、电流的相位的步骤；以及

利用所述控制部来控制所述逆变器的输出电流的步骤。

5.根据权利要求4所述的利用能够控制输出电流的供电装置的供电方法，其特征在于，所述共振网络包括一端与所述共振电容器串联且另一端接地连接的无源器件。

6.根据权利要求5所述的利用能够控制输出电流的供电装置的供电方法，其特征在于，所述无源器件包括电阻、电感器、电容器、转换器或继电器中的一种以上。