[发明专利]一种晶片传输系统

说明书

本发明公开了一种晶片传输系统，包括：加载腔室，呈长方体状，并在一侧设有开口；伸缩导向机构，安装在所述加载腔内，包括纵移导向装置和横移导向装置，其中所述横移导向装置以可移动的方式安装在所述纵移导向装置上，所述纵移导向装置安装固定在所述加载腔室中；机械手，为平板状，一端设有凹槽用于放置晶片，另一端安装在所述横移导向装置上,整体可从所述加载腔的开口处伸出；伸缩驱动机构，与所述横移导向装置相连接，带动所述机械手进行伸缩运动，从所述加载腔的开口处伸出或回收；伸缩限位机构，安装在所述伸缩驱动机构上，对所述机械手的初始位置和终点位置进行限制。进一步地，本发明还包括升降导向机构和升降驱动机构，可以实现对晶片的升降传输。

技术领域

本发明涉及半导体设备领域，具体涉及一种晶片传输系统。

背景技术

在半导体工艺制程中经常会用到有毒或者危险气体，如硅烷(SiH4)和氨(NH3)等等。同时随着半导体制程精密度和要求的不断提高，晶片对颗粒和其他污染物越来越敏感，因此在高效率的半导体制造设备中需要一种大气或者真空下的晶片传输系统，以防止由小颗粒引起的污染和反应区域的有毒有害气体泄漏。与此同时在某些低成本单晶片制程设备中，除了在水平面内搬运晶片，还需要将晶片抬高或者降低一定位置。

发明内容

为了解决上述问题，本发明公开一种晶片传输系统，包括：加载腔室，呈长方体状，并在一侧设有开口；伸缩导向机构，安装在所述加载腔内，包括纵移导向装置和横移导向装置，其中所述横移导向装置以可移动的方式安装在所述纵移导向装置上，所述纵移导向装置安装固定在所述加载腔室中；机械手，为平板状，一端设有凹槽用于放置晶片，另一端安装在所述横移导向装置上,整体可从所述加载腔的开口处伸出；伸缩驱动机构，与所述横移导向装置相连接，带动所述机械手进行伸缩运动，从所述加载腔的开口处伸出或回收；以及伸缩限位机构，安装在所述伸缩驱动机构上，对所述机械手的初始位置和终点位置进行限制。

本发明的晶片传输系统，优选为，所述纵移导向装置包括固定导向杆和固定座，通过所述固定座将所述固定导向杆以与所述加载腔室的设有所述开口的面相垂直的方式安装在所述加载腔室中。

本发明的晶片传输系统，优选为，所述横移导向装置包括横移导向杆、滑块、过渡块和摇臂，其中，所述横移导向杆通过所述滑块以可移动的方式安装在所述固定导向杆上，所述过渡块以可移动的方式安装在所述横移导向杆上，所述过渡块与所述摇臂相连接，所述摇臂与所述伸缩驱动机构相连接。

本发明的晶片传输系统，优选为，所述过渡块底部设有圆柱状凸起，所述摇臂一端对应设置有孔，所述圆柱状凸起插入所述孔中使所述过渡块与所述摇臂相连接。

本发明的晶片传输系统，优选为，所述横移导向装置包括移动座和摇臂，所述移动座以可移动的方式安装在所述固定导向杆上，所述移动座与所述摇臂相连接，所述摇臂与所述伸缩驱动机构相连接。

本发明的晶片传输系统，优选为，所述移动座底部设有圆柱状凸起，所述摇臂上对应设有长槽，所述圆柱状凸起插入所述长槽中并可在所述长槽内往复滑动。

本发明的晶片传输系统，优选为，所述伸缩驱动机构包括电动机、减速器、联轴器、磁流体密封件和支撑座，所述电动机输出扭矩，通过所述减速器放大，所述减速器的输出轴与所述磁流体密封件的转子的一端通过所述联轴器相连接，所述磁流体密封件的转子的另一端与所述摇臂相连接，所述支撑座呈半圆筒状，所述减速器的输出轴与所述联轴器从所述支撑座中穿过，所述支撑座安装在所述装载腔室底部。

本发明的晶片传输系统，优选为，所述伸缩限位机构包括遮光板和两个光电传感器，所述遮光板安装在所述联轴器的一侧，所述两个光电传感器设置在所述支撑座的半圆筒外壁上，并且位置可调节。

本发明的晶片传输系统，优选为，还包括升降导向机构和升降驱动机构，