[发明专利]一种超精密气浮定位平台

权利要求书

1.一种超精密气浮定位平台，其特征在于，包括水平底座、设在所述底座上的滑台，用于支撑所述滑台的立柱，用于驱动所述滑台的直线电机，以及固定在所述底座一侧且沿所述滑台移动方向延伸的竖直侧板，所述直线电机的定子固定在所述底座上，所述直线电机的动子与所述滑台的底面固定连接，所述立柱固定在所述滑台的底面，且所述立柱底部安装有用于产生正压以使所述滑台垂直悬浮的正压空气轴承，所述滑台靠近所述侧板的一侧固定有用于保证其沿所述侧板延伸方向移动的正负压空气轴承。

2.根据权利要求1所述的超精密气浮定位平台，其特征在于，所述侧板上安装有用于测量所述滑台位移的光栅尺，所述光栅尺上设有光栅读数头。

3.根据权利要求2所述的超精密气浮定位平台，其特征在于，所述底座上还安装有用于限制所述滑台位移的限位光电开关。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的超精密气浮定位平台，其特征在于，包括四个所述立柱，四个所述立柱分别设在所述滑台底面的四角，其中两个所述立柱靠近所述侧板，且所述正负压空气轴承固定在上述两个所述立柱靠近所述侧板的一侧。

5.根据权利要求4所述的超精密气浮定位平台，其特征在于，所述底座为大理石底座，所述侧板为大理石侧板。

6.根据权利要求5所述的超精密气浮定位平台，其特征在于，所述底座与所述侧板螺栓连接，所述滑台与所述立柱以及所述直线电机的动子均螺栓连接。