[发明专利]一种工件显微缺陷检测系统

权利要求书

1.一种工件显微缺陷检测系统，其特征在于：包括显微镜（1）、显微镜三向位置调整平台（2）和万向托举支架（3），显微镜（1）固定连接在显微镜三向位置调整平台（2）上，三向位置调整平台（2）下端固定连接在万向托举支架（3）上。

2.根据权利要求1所述的一种工件显微缺陷检测系统，其特征在于：显微镜（1）包括物镜（4），物镜（4）安装在物镜座（5）上，物镜座（5）上端连接到镜筒（6），物镜座（5）上设置有物镜微调装置。

3.根据权利要求2所述的一种工件显微缺陷检测系统，其特征在于：物镜座（5）上端可上下活动地嵌入到镜筒（6）下端内，物镜微调装置包括限位导向螺钉（7），限位导向螺钉（7）一端固定连接在物镜座（5）上，另一端穿过镜筒（6）上的竖直条形槽（8）进行导向限位，限位导向螺钉（7）外端镶嵌到在调焦螺母（9）的内螺旋槽内，调焦螺母（9）可活动地套接在镜筒（6）下端，调焦螺母（9）外柱面设置成齿形结构，与调焦螺母（9）齿面相啮合的主动齿轮（10）连接到电机（11）输出轴，电机（11）通过电机座（12）固定连接在镜筒（6）上，调焦螺母（9）旋转能够带动限位导向螺钉（7）上下移动。

4.根据权利要求3所述的一种工件显微缺陷检测系统，其特征在于：调焦螺母（9）下安装有限位调焦螺母（13），限位调焦螺母（13）连接在调焦螺母（9）连接处的螺纹上，可推动调焦螺母（9）上下移动的行程。

5.根据权利要求3所述的一种工件显微缺陷检测系统，其特征在于：物镜座（2）设置有保护罩（14），保护罩（14）上端通过内螺纹连接到调焦螺母（9）连接处的螺纹上。

6.根据权利要求1所述的一种工件显微缺陷检测系统，其特征在于：万向托举支架（3）包括底座（301）、主双节万向臂（302）、副双节万向臂（303）和仪器支撑座（304），主双节万向臂（302）和副双节万向臂（303）的下端均固定连接在底座（301）上，上端均固定连接仪器支撑座（304）上，主双节万向臂（302）和副双节万向臂（303）结构相同并能够锁紧定位。

7.根据权利要求6所述的一种工件显微缺陷检测系统，其特征在于：主双节万向臂（302）包括支杆（305），支杆（305）上端通过球铰一（306）连接到第一支撑杆（307），第一支撑杆（307）上端通过铰链一（308）铰接到第二支撑杆（309），第二支撑杆（309）上端通过双头球铰（310）连接到第三支撑杆（311），第三支撑杆（311）上端通过铰链二（312）铰接到第四支撑杆（313），第四支撑杆（313）上端通过球铰二（314）连接到与仪器支撑座（304）底部连接的支撑台（315）上，球铰一（306）和球铰二（312）以及双头球铰（310）处均设置有紧固装置。

8.根据权利要求7所述的一种工件显微缺陷检测系统，其特征在于：紧固装置包括锁紧螺杆（316）和锁紧推杆（317），锁紧螺杆（316）拧入铰链一（308）或铰链二（312）并对其进行锁紧固定，锁紧推杆（317）内置到第一支撑杆（307）、第二支撑杆（309）、第三支撑杆（311）或第四支撑杆（313）内，一端抵靠在球铰内的球表面上，另一端抵靠在锁紧螺杆（316）上固定连接的偏心轮（318）上。

9.根据权利要求6所述的一种工件显微缺陷检测系统，其特征在于：底座（301）为一空箱结构，一侧设置有向上翻的箱盖（319），箱盖（319）通过后侧的转动轴（320）连接到底座（301）上。

10.根据权利要求1所述的一种工件显微缺陷检测系统，其特征在于：还包括现场控制器和监控终端，监控终端通过无线模块连接到现场控制器，还通过无线模块连接到显微镜，现场控制器连接有显微镜三向位置调整平台的三向驱动电机和显微镜微调的电机。