[发明专利]测量设备

权利要求书

1.一种用于非电参量的测量设备，

具有测量单元(1)，所述测量单元设计用于借助具有频率(f)的交流电流间接地使所述非电参量(2)转化为电的测量信号(3)，其中，电的所述测量信号(3)包含取决于所述非电参量(2)的具有双倍频率(2f)的有效信号分量(3(2f))和取决于所述交流电流(I(f))的具有所述频率(f)的干扰信号分量(3(f))，

具有信号预处理装置(5)，用于将所述测量信号(3)预处理和数字化成数字信号(9)，并且

具有信号处理装置(10)，用于借助信号处理软件将所述数字信号(9)处理成测量值(11)，其中，所述信号处理软件设计用于，

所述数字信号(9)通过与参考信号(14)相乘(13)在所述双倍频率(2f)时被相位敏感地探测，并且所述数字信号通过随后的低通滤波(15)被处理为与所述非电参量(2)成比例的所述测量值(11)，并且

所述数字信号(9)通过与另外的参考信号(19)相乘(18)在一倍的频率(f)时被相位敏感地探测，并且所述数字信号通过随后的所述低通滤波(15)被处理为干扰信号值(20)，

其特征在于，

所述信号处理装置(10)具有归一化级(22)，所述归一化级设计用于通过形成所述测量值(11)与所述干扰信号值(20)的平方之商使得所述测量值归一化并且作为归一化的测量值(11’)给出。

2.根据权利要求1所述的测量设备，其特征在于，所述信号处理软件交替地处理在所述双倍频率(2f)时探测的数字信号(9)和在一倍的频率(f)时探测的数字信号(9)。

3.根据权利要求1所述的测量设备，其特征在于，所述信号处理软件以双重实施的方式存在并且并行地处理在所述双倍频率(2f)时探测的数字信号(9)和在一倍的频率(f)时探测的数字信号(9)。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的测量设备，其特征在于，所述测量单元(1)包括根据顺磁交变压力方法工作的气体分析器(30)，所述气体分析器具有生成带有交变的通量强度的磁场的电磁铁(33)，所述电磁铁利用所述交流电流(I(f))进行驱控。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的测量设备，其特征在于，所述测量单元(1、40、50、60)包括利用所述交流电流(I(f))驱控的加热电阻(43)并且设计用于，使所述非电参量根据热物理学原理转化为电的所述测量信号(3)。

6.根据权利要求5所述的测量设备，其特征在于，所述测量单元(1)是能导热气体分析器(40)。

7.根据权利要求5所述的测量设备，其特征在于，所述测量单元(1)是流量传感器。

8.根据权利要求7所述的测量设备，其特征在于，所述测量单元(1)是测热的流量传感器(40、50)。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的测量设备，其特征在于，所述测量单元(1)包括根据光学原理工作的、具有辐射源的气体分析器，所述气体分析器利用所述交流电流(I(f))进行驱控。

10.根据权利要求1至3中任一项所述的测量设备，其特征在于，所述信号处理装置(10)具有用于通过将所述干扰信号值(20)与期望值相比较来监控所述信号预处理装置(5)和所述信号处理装置(10)的部件。