[发明专利]一种散热元件及其制备方法和IGBT模组有效
| 申请号: | 201710626333.9 | 申请日: | 2017-07-27 |
| 公开(公告)号: | CN107546200B | 公开(公告)日: | 2018-09-11 |
| 发明(设计)人: | 宫清;林信平;徐强;刘成臣 | 申请(专利权)人: | 比亚迪股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/367 | 分类号: | H01L23/367;H01L23/373 |
| 代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人: | 耿超;王浩然 |
| 地址: | 518118 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 散热 元件 及其 制备 方法 igbt 模组 | ||
1.一种散热元件,该散热元件包括导热体和散热本体,其特征在于,所述导热体为陶瓷覆铝导热体;所述散热本体为铝硅碳散热本体(1);所述铝硅碳散热本体(1)上开设有一个或多个槽(6);所述陶瓷覆铝导热体通过渗铝一体成型地嵌入所述槽(6)内;所述陶瓷覆铝导热体包括陶瓷绝缘板(2)和设置于所述陶瓷绝缘板(2)的相对的两个表面上的第一铝层(3)和第二铝层(4),并且所述陶瓷绝缘板(2)通过渗铝一体成型的所述第一铝层(3)连接在所述铝硅碳散热本体(1)上;所述第二铝层(4)的上表面与所述铝硅碳散热本体(1)的所述槽(6)以外的上表面形成平整表面。
2.根据权利要求1所述的散热元件,其中,所述陶瓷绝缘板(2)将所述第二铝层(4)与所述第一铝层(3)隔离,且所述第二铝层(4)与所述铝硅碳散热本体(1)隔离。
3.根据权利要求2所述的散热元件,其中,所述陶瓷绝缘板(2)为氧化铝陶瓷板、氮化铝陶瓷板或氮化硅陶瓷板。
4.根据权利要求3所述的散热元件,其中,所述氧化铝陶瓷板为增韧氧化铝陶瓷板。
5.根据权利要求2所述的散热元件,其中,所述第一铝层(3)的厚度为0.02~0.15mm,所述陶瓷绝缘板(2)的厚度为0.25~1mm,所述第二铝层(4)的厚度为0.2~1.0mm;所述第一铝层(3)和所述第二铝层(4)为纯铝层和/或铝合金层。
6.根据权利要求1所述的散热元件,其中,所述铝硅碳散热本体(1)包括碳化硅多孔骨架(11)和通过渗铝一体成型的结合在所述碳化硅多孔骨架(11)内部的铝。
7.根据权利要求1所述的散热元件,其中,所述铝硅碳散热本体(1)上还设置有一个或多个散热柱(5);所述散热柱(5)的一端与铝硅碳散热本体(1)固定连接,散热柱(5)的另一端为自由端;所述散热柱(5)设置在所述铝硅碳散热本体(1)相对于所述陶瓷覆铝导热体一侧的表面上。
8.根据权利要求7所述的散热元件,其中,所述散热柱(5)为铝柱、铝合金柱和铝覆铜柱中的至少一种;所述散热柱(5)通过渗铝一体成型地连接在所述铝硅碳散热本体(1)上。
9.根据权利要求2所述的散热元件,其中,相对于同一块所述铝硅碳散热本体(1),所述槽(6)和陶瓷绝缘板(2)的设置数量为一个,所述第一铝层(3)和第二铝层(4)的设置数量为一块和/或多块;
或者,相对于同一块所述铝硅碳散热本体(1),所述槽(6)的设置数量为多个,所述第一铝层(3)、第二铝层(4)和陶瓷绝缘板(2)的设置数量与槽(6)的数量相同。
10.一种散热元件的制备方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:
S1. 将碳化硅多孔骨架(11)和陶瓷绝缘板(2)装入渗铝模具(10),所述碳化硅多孔骨架(11)上开设有一个或多个槽(6),所述陶瓷绝缘板(2)置于所述碳化硅多孔骨架(11)的槽(6)内并使得所述碳化硅多孔骨架(11)的槽底与所述陶瓷绝缘板(2)之间具有第一空隙(7)且所述陶瓷绝缘板(2)与所述渗铝模具(10)的壁之间具有第二空隙(8);
S2. 在压力铸渗条件下,将熔融铝液加入所述渗铝模具(10)并填充至所述第一空隙(7)和所述第二空隙(8)中并且进行抽真空和加压的操作,然后进行冷却脱模;
S3. 通过蚀刻去除所述第一空隙(7)和所述第二空隙(8)中的部分铝金属,以使得所述第一空隙(7)中的剩余铝金属形成第一铝层(3)而所述第二空隙(8)中的剩余铝金属形成第二铝层(4),且所述陶瓷绝缘板(2)将所述第二铝层(4)与所述第一铝层(3)隔离,所述第二铝层(4)与所述铝硅碳散热本体(1)隔离;
所述渗铝模具(10)的壁使得所述第二铝层(4)的上表面与所述铝硅碳散热本体(1)的所述槽(6)以外的上表面形成平整表面。
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