[发明专利]清洁治具

权利要求书

1.一种清洁治具，用于清洁制作CF基板时在高温烘烤设备中形成的光阻凝结物；其特征在于，所述清洁治具包括依次相连的供电部、清洗液存放部以及清洗液雾化部，所述清洗液雾化部的远离所述清洗液存放部的端部设置有清洁部件；所述供电部和所述清洗液存放部上设置有手柄，所述手柄可相对于所述供电部及所述清洗液存放部按照远离或靠近所述清洗液雾化部的方向滑动，以使所述清洁治具有可伸缩性；在所述供电部的作用下，所述清洗液存放部中存放的清洗液流至所述清洗液雾化部并形成清洗液喷雾，所述清洗液喷雾喷至所述清洁部件上以湿润所述清洁部件。

2.根据权利要求1所述的清洁治具，其特征在于，所述清洗液雾化部包括雾化壳，以及按照远离所述清洗液存放部设置在所述雾化壳内的加热器和蒸汽排出板；所述蒸汽排出板上设置有若干蒸汽出孔，以将所述清洗液喷雾喷至所述清洁部件上。

3.根据权利要求2所述的清洁治具，其特征在于，所述清洗液雾化部内还设置有与所述清洗液存放部相连通的供液管路，所述供液管路用于将所述清洗液输送至所述加热器表面，以使所述清洗液经汽化形成所述清洗液喷雾。

4.根据权利要求3所述的清洁治具，其特征在于，所述加热器包括加热丝和设置于所述加热丝和所述蒸汽排出板之间的加热板。

5.根据权利要求4所述的清洁治具，其特征在于，所述供液管路的自由端连接有清洗液喷头，所述清洗液喷头的喷液方向朝向所述加热板的表面。

6.根据权利要求3所述的清洁治具，其特征在于，所述清洗液存放部的靠近所述供液管路的端口处设置有液位传感器，以对所述清洗液存放部内部的清洗液的存量进行监控。

7.根据权利要求4所述的清洁治具，其特征在于，所述清洗液雾化部内还设置有温度传感器，以对所述加热板的温度进行监控。

8.根据权利要求1-7任一所述的清洁治具，其特征在于，所述清洗液雾化部的远离所述清洗液存放部的端部设置有清洁部件夹具，以夹置所述清洁部件。

9.根据权利要求8所述的清洁治具，其特征在于，所述清洁部件为无尘布。

10.根据权利要求1-7任一所述的清洁治具，其特征在于，所述手柄具有用于容置所述供电部和所述清洗液存放部的凹槽，所述手柄通过所述凹槽相对于所述供电部和所述清洗液存放部滑动；

或所述手柄具有中空结构，所述供电部和所述清洗液存放部套设于所述手柄内，以使所述手柄相对于所述供电部和所述清洗液存放部滑动。