[发明专利]一种基于多路径声光波导结构的微光机电陀螺在审
| 申请号： | 201710618716.1 | 申请日： | 2017-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN109307507A | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 李红浪;卢孜筱;田亚会;柯亚兵;程利娜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | G01C19/58 | 分类号： | G01C19/58 |
| 代理公司： | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人： | 陈琳琳;杨青 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 声光波导区域 微光机电陀螺 叉指换能器 基底材料 起偏器 声表面波 声光波导 多路径 检偏器 光纤 偏振光信号 输入光信号 传输过程 沟道结构 声波 灵敏度 调制 覆盖 | ||
1.一种基于多路径声光波导结构的微光机电陀螺，包括基底材料(11)和设置于基底材料(11)上的叉指换能器(15)，其特征在于，该微光机电陀螺还包括：光纤(12)、起偏器(13)、检偏器(18)和声光波导区域(16)；所述的光纤(12)用于向起偏器(13)输入光信号，所述的光信号依次经起偏器(13)、声光波导区域(16)和检偏器(18)处理后，生成经声表面波调制的偏振光信号；所述的声光波导区域(16)为嵌于基底材料(11)上的S形沟道结构，并被叉指换能器(15)产生的声表面波所覆盖。
2.根据权利要求1所述的基于多路径声光波导结构的微光机电陀螺，其特征在于，所述的微光机电陀螺还包括声吸收带(14)，所述叉指换能器(15)的两端各设有一个声吸收带(14)，用于吸收基底材料(11)因声表面波作用产生的超声回波。
3.根据权利要求1所述的基于多路径声光波导结构的微光机电陀螺，其特征在于，所述的微光机电陀螺还包括电光调制器(17)，所述声光波导区域(16)的两侧各设有一个电光调制器(17)，用于对声光波导区域(16)内传输的光信号进行幅度调制。
4.根据权利要求1所述的基于多路径声光波导结构的微光机电陀螺，其特征在于，所述的声光波导区域(16)通过在基底材料(11)上采用光刻、镀膜、扩散或刻蚀工艺制成；所述的基底材料(11)采用声光波导介质，包括：LiNbO3、PbMoO4、GaAs、Si、TeO2晶体或合成有机材料。
5.根据权利要求4所述的基于多路径声光波导结构的微光机电陀螺，其特征在于，所述的声光波导区域(16)利用钛扩散技术在基底材料(11)上制成。
6.根据权利要求1所述的基于多路径声光波导结构的微光机电陀螺，其特征在于，所述的光纤(12)为单模式光纤或多模式光纤。
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