[发明专利]一种烘干装置及制绒机在审
| 申请号： | 201710618388.5 | 申请日： | 2017-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN107356082A | 公开（公告）日： | 2017-11-17 |
| 发明（设计）人： | 雷杰;曾志贵;张红 | 申请（专利权）人： | 昊诚光电（太仓）有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/12 | 分类号： | F26B15/12;F26B21/00;F26B21/12;H01L31/18;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司11278 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 215400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 烘干 装置 制绒机 | ||
1.一种烘干装置，包括风机、加热装置、传送轮、风刀和烘干室，其特征在于，所述风机通过管路与所述加热装置连接，将所述加热装置的出口与所述风刀连接，所述风刀设置在所述烘干室内，所述烘干室的侧面对称设置有用于硅片的入口和出口的间隙，在间隙的上面和下面分别设置所述风刀，在间隙的下方设置有所述传送轮，在所述传送轮的上方再设置所述传送轮。
2.根据权利要求1所述的一种烘干装置，其特征在于，还包括过滤装置，所述过滤装置设置在所述风机1的入口处。
3.根据权利要求2所述的一种烘干装置，其特征在于，在所述加热装置与风刀之间加装过滤片。
4.根据权利要求1所述的一种烘干装置，其特征在于，所述烘干室上设置有泄气口。
5.根据权利要求4所述的一种烘干装置，其特征在于，泄气口处设置有过滤片。
6.根据权利要求1所述的一种烘干装置，其特征在于，泄气口处设置有止回阀。
7.根据权利要求1所述的一种烘干装置，其特征在于，所述间隙厚度大于硅片厚度。
8.根据权利要求1所述的一种烘干装置，其特征在于，还包括湿度传感器和PLC，所述湿度传感器设置在所述烘干室内，所述PLC分别与所述湿度传感器和所述风机连接。
9.根据权利要求3或5所述的一种烘干装置，其特征在于，所述过滤片为HEPA。
10.根据权利要求1所述的一种制绒机，其特征在于，包括权利要求1-8任一所述的烘干装置。
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