[发明专利]表面压力计测装置

权利要求书

1.一种表面压力计测装置，构成为计测对象物的表面的局部的表面压力，其特征在于，

具备：

抵接板，其构成为抵接于所述对象物，且在抵接于所述对象物的抵接面设有孔；

探针，其具有在所述抵接面侧露出的顶端面，且以能够在所述孔的轴向上移动的方式插通于所述抵接板的所述孔；

第1致动器，其构成为使所述对象物以预定的载荷抵接于所述抵接面，或者构成为以将所述对象物压缩至预定的厚度的方式使所述对象物抵接于所述抵接面；

第2致动器，其构成为，支承所述探针，在所述第1致动器使所述对象物抵接于所述抵接面的期间，克服所述探针从所述对象物所承受的反力而将所述探针的顶端面保持为与所述抵接面共面；

载荷传感器，其构成为计测在所述第2致动器将所述探针的顶端面保持为与所述抵接面共面时施加于所述探针的载荷；以及

控制器，其构成为根据所述载荷传感器的计测值和所述探针的顶端面的面积来算出施加于所述探针的顶端面的表面压力。

2.根据权利要求1所述的表面压力计测装置，其特征在于，

所述表面压力计测装置进一步具备第3致动器，该第3致动器构成为，使所述抵接板相对于所述对象物相对移动以变更所述对象物与所述探针抵接的部位，其中，

所述控制器在所述对象物的多个部位算出所述表面压力，并输出所述对象物的表面压力分布。

3.根据权利要求1或2所述的表面压力计测装置，其特征在于，

所述探针具备顶端和比顶端粗的中间部，

所述孔具备：小径部，其供所述探针的所述顶端插通；和大径部，其直径比所述小径部的直径大，供所述中间部插通。

4.根据权利要求1或2所述的表面压力计测装置，其特征在于，

所述表面压力计测装置进一步具备第1激光测距仪，该第1激光测距仪构成为计测所述探针在所述孔的轴向上的位置，其中，

所述控制器，存储所述顶端面与所述抵接面共面时的所述探针在所述孔的轴向上的位置，并基于所述第1激光测距仪的计测数据来控制第2致动器，以使得所述顶端面与所述抵接面成为共面。

5.根据权利要求1或2所述的表面压力计测装置，其特征在于，

所述表面压力计测装置进一步具备载置所述对象物的载置台，其中，

所述第1致动器构成为使所述载置台运动。

6.根据权利要求5所述的表面压力计测装置，其特征在于，

所述表面压力计测装置进一步具备第2激光测距仪，该第2激光测距仪构成为，设置于所述载置台，并计测所述载置台与所述抵接板之间的距离，其中，

所述控制器取得由所述第2激光测距仪计测到的计测数据，并基于由所述第2激光测距仪计测到的所述计测数据来控制所述第1致动器，以使得所述载置台与所述抵接板之间的距离变化。

7.根据权利要求1或2所述的表面压力计测装置，其特征在于，

所述第1致动器构成为使所述抵接板运动。