[发明专利]一种成膜设备

权利要求书

1.一种成膜设备，其特征在于：包括壳体，所述壳体的内部为成膜室，所述成膜室的上部或下部设有待生长的材料源，所述成膜室的下部或上部设有用于放置工件的工作台，所述工作台的内部设有加热设备，所述工作台由一直线运动机构驱动上下移动，所述直线运动机构由一控制器控制。

2.根据权利要求1所述的成膜设备，其特征在于：所述直线运动机构为电动推杆，所述电动推杆的固定端连接所述壳体，所述电动推杆的活动端连接所述工作台。

3.根据权利要求1所述的成膜设备，其特征在于：所述直线运动机构包括伺服电机、驱动齿轮和齿条，所述伺服电机设置在所述壳体上，所述驱动齿轮设置在所述伺服电机的驱动轴上，所述齿条设置在所述工作台上，所述驱动齿轮与所述齿条啮合。

4.根据权利要求1所述的成膜设备，其特征在于：所述控制器内预设有控制所述直线运动机构的程序；所述程序包括可设定的参数。

5.根据权利要求1所述的成膜设备，其特征在于：还包括设置在所述成膜室内部的激光测厚传感器，所述激光测厚传感器与所述控制器电连接。

6.根据权利要求5所述的成膜设备，其特征在于：所述控制器根据所述激光测厚传感器的检测数据，控制所述直线运动机构向上或向下移动。

7.根据权利要求6所述的成膜设备，其特征在于：所述激光测厚传感器至少为两个，分别检测膜层不同部位的厚度。

8.根据权利要求1所述的成膜设备，其特征在于：所述材料源为靶材或蒸发源，所述靶材连接有溅射源，所述溅射源为微波发生器、射频发生器或直流电源；所诉蒸发源采用热蒸发或电子束蒸发。

9.根据权利要求1所述的成膜设备，其特征在于：所述加热设备为电阻加热器或红外加热器。