[发明专利]整平剂、含其的金属电镀组合物、制备方法及应用有效
申请号: | 201710613256.3 | 申请日: | 2017-07-25 |
公开(公告)号: | CN107313082B | 公开(公告)日: | 2018-08-17 |
发明(设计)人: | 王溯;施立琦;高学朋 | 申请(专利权)人: | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
主分类号: | C25D3/38 | 分类号: | C25D3/38;C07D487/04 |
代理公司: | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人: | 薛琦;袁红 |
地址: | 201616 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 整平剂 金属 电镀 组合 制备 方法 应用 | ||
1.一种式I化合物作为整平剂在制备金属电镀组合物中的应用,
其中,
R1为C1-C5烷基、炔丙基、烯丙基或苄基;
R2为氢、C1-C5烷基、羟基取代的C1-C5烷基、不饱和五元杂环取代的C1-C3烷基、苯基、卤代苯基、苄基、卤代苄基、或羟基取代的苄基;
R3为取代或未取代的苯基、吡啶基、萘基、羟基取代的萘基、噻吩基、呋喃基或吲哚基;
R4为氢或C1-C5烷基;
所述取代的苯基中的取代基选自:卤素、C1-C5烷基、硝基、甲氧基、羟基和C1-C3烷基氨基中的一个或多个;当取代基为多个时,所述取代基相同或不同;
所述不饱和五元杂环中的杂原子选自O、N和S中的一个或多个,杂原子的个数为1-3个,当杂原子为多个时,所述的杂原子相同或不同。
2.如权利要求1所述的应用,其特征在于,
R1为甲基、丙基、苄基、炔丙基或烯丙基;
和/或,R2为苄基、甲基、羟乙基、噻吩取代的甲基、呋喃取代的乙基、单卤代苄基、或羟基取代的苄基;
和/或,R3为吡啶基、噻吩基、吲哚基、萘基、羟基取代的萘基、苯基、羟基取代的苯基、单卤代苯基、甲基苯基、硝基苯基、甲氧基苯基、或二甲基氨基取代的苯基;
和/或,R4为氢或甲基;
和/或,卤素为氟、氯或溴。
3.如权利要求1所述的应用,其特征在于,
所述的整平剂为下列化合物中的一个或多个:
化合物1:R1=Propyl-;R2=Bn-;R3=Ph-;R4=H-;
化合物2:R1=Propyl-;R2=Bn-;R3=2-Cl-Ph-;R4=H-;
化合物3:R1=Propyl-;R2=Bn-;R3=3-Cl-Ph-;R4=H-;
化合物4:R1=Propyl-;R2=Bn-;R3=4-Cl-Ph-;R4=H-;
化合物5:R1=Propyl-;R2=Bn-;R3=4-Br-Ph-;R4=H-;
化合物6:R1=Propyl-;R2=Bn-;R3=2-F-Ph-;R4=H-;
化合物7:R1=Propyl-;R2=Bn-;R3=4-Me-Ph-;R4=H-;
化合物8:R1=Propyl-;R2=Bn-;R3=3,4,5-(MeO)3-Ph-;R4=H-;
化合物9:R1=Propyl-;R2=Bn-;R3=4-NO2-Ph-;R4=H-;
化合物10:R1=Propyl-;R2=Bn-;R3=4-(N,N-(CH3)2)-Ph-;R4=H-;
化合物11:R1=Propyl-;R2=Bn-;R4=H-;
化合物12:R1=Propyl-;R2=Bn-;R4=H-;
化合物13:R1=Propyl-;R2=Bn-;R4=H-;
化合物14:R1=Propyl-;R2=Bn-;R4=H-;
化合物15:R1=Propyl-;R2=Bn-;R4=H-;
化合物16:R1=Propyl-;R2=Bn-;R3=Ph-;R4=CH3-;
化合物17:R1=Propyl-;R2=Bn-;R3=4-MeO-Ph-;R4=CH3-;
化合物18:R1=Propyl-;R2=Bn-;R3=2-OH-Ph-;R4=CH3-;
化合物19:R1=Propyl-;R2=Bn-;R3=4-OH-Ph-;R4=CH3-;
化合物20:R1=Propyl-;R2=Bn-;R3=4-Br-Ph-;R4=CH3-;
化合物21:R1=Propyl-;R3=2-OH-Ph-;R4=CH3-;
化合物22:R1=Propyl-;R2=2-Cl-Bn-;R3=2-OH-Ph-;R4=CH3-;
化合物23:R1=Propyl-;R2=3-Cl-Bn-;R3=2-OH-Ph-;R4=CH3-;
化合物24:R1=Propyl-;R2=4-Cl-Bn-;R3=2-OH-Ph-;R4=CH3-;
化合物25:R1=Propyl-;R2=4-Br-Bn-;R3=2-OH-Ph-;R4=CH3-;
化合物26:R1=Propyl-;R2=4-F-Bn-;R3=2-OH-Ph-;R4=CH3-;
化合物27:R1=Propyl-;R3=2-OH-Ph-;R4=CH3-;
化合物28:R1=Propyl-;R3=2-OH-Ph-;R4=CH3-;
化合物29:R1=Propyl-;R2=4-OH-Bn-;R3=2-OH-Ph-;R4=CH3-;
化合物30:R1=Propargyl-;R2=Bn-;R3=3,4,5-(MeO)3-Ph-;R4=H-;
化合物31:R1=Propargyl-;R2=Bn-;R4=H-;
化合物32:R1=Propargyl-;R2=Bn-;R3=4-(N,N-(CH3)2)-Ph-;R4=H-;
化合物33:R1=Propargyl-;R2=Bn-;R3=2-OH-Ph-;R4=CH3-;
化合物34:R1=Bn-;R2=Bn-;R3=3,4,5-(MeO)3-Ph-;R4=H-;和
化合物35:R1=Bn-;R2=Bn-;R3=2-OH-Ph-;R4=CH3-;
Propyl-是指丙基,其结构为
Propargyl-是指炔丙基,其结构为
Bn-是指苄基,其结构为
Ph-是指苯基,其结构为
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