[发明专利]一种清洗剂、其制备方法和应用

权利要求书

1.一种清洗剂的制备方法，其特征在于，其包括下列步骤：将下述原料混合，即可；所述的原料包含下列质量分数的组分：0.5％-20％的含碘氧化剂、0.5％-20％的含硼蚀刻剂、1％-50％的吡咯烷酮类溶剂、1％-20％的腐蚀抑制剂、0.01％-5％的不含金属离子的表面活性剂，和水，各组分质量分数之和为100％；所述清洗剂的pH值为7.5-13.5；所述的腐蚀抑制剂为苯并三氮唑类腐蚀抑制剂、腙类腐蚀抑制剂、卡巴腙类腐蚀抑制剂和硫代卡巴腙类腐蚀抑制剂中的一种或多种；所述的不含金属离子的表面活性剂为聚乙烯吡咯烷酮和/或十二烷基苯磺酸。

2.如权利要求1所述的清洗剂的制备方法，其特征在于，

所述的含碘氧化剂的质量分数为1％-10％；

和/或，所述的含硼蚀刻剂的质量分数为1％-10％；

和/或，所述的吡咯烷酮类溶剂的质量分数为5％-35％；

和/或，所述的腐蚀抑制剂的质量分数为3％-15％；

和/或，所述的表面活性剂的质量分数为0.1％-4％；

和/或，所述清洗剂的pH值为8-12。

3.如权利要求2所述的清洗剂的制备方法，其特征在于，

所述的含碘氧化剂的质量分数为1.5％-5％；

和/或，所述的含硼蚀刻剂的质量分数为1.5％-5％；

和/或，所述的吡咯烷酮类溶剂的质量分数为10％-30％；

和/或，所述的腐蚀抑制剂的质量分数为5％-10％；

和/或，所述的表面活性剂的质量分数为0.2％-3％；

和/或，所述清洗剂的pH值为9-11。

4.如权利要求1所述的清洗剂的制备方法，其特征在于，

所述苯并三氮唑类腐蚀抑制剂为苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑和5-羧基苯并三氮唑中的一种或多种；

和/或，所述腙类腐蚀抑制剂为苯乙酮苯腙；

和/或，所述硫代卡巴腙类腐蚀抑制剂为二苯基硫代卡巴腙。

5.如权利要求1所述的清洗剂的制备方法，其特征在于，所述的含碘氧化剂为碘酸、碘酸盐、过碘酸和过碘酸盐中的一种或多种。

6.如权利要求5所述的清洗剂的制备方法，其特征在于，

所述的碘酸盐为碘酸铵和/或碘酸四甲铵；

和/或，所述的过碘酸盐为过碘酸铵和/或过碘酸四甲铵。

7.如权利要求1所述的清洗剂的制备方法，其特征在于，所述的含硼蚀刻剂为四氟硼酸、四氟硼酸铵、四氟硼酸四甲铵、四氟硼酸四乙铵、四氟硼酸四丙铵和四氟硼酸四丁铵中的一种或多种。

8.如权利要求1所述的清洗剂的制备方法，其特征在于，所述的吡咯烷酮类溶剂为N上的氢被取代的吡咯烷酮类溶剂。

9.如权利要求8所述的清洗剂的制备方法，其特征在于，所述的N上的氢被取代的吡咯烷酮类溶剂为N-甲基吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮、N-环己基吡咯烷酮和N-羟乙基吡咯烷酮中的一种或多种。

10.如权利要求1-9任一项所述的清洗剂的制备方法，其特征在于，所述的清洗剂，其由下述原料制得，所述的原料组分由所述的含碘氧化剂、所述的含硼蚀刻剂、所述的吡咯烷酮类溶剂、所述的腐蚀抑制剂、所述的不含金属离子的表面活性剂和所述的水组成。