[发明专利]功能液排出装置和功能液排出位置调整方法

说明书

本发明提供具有设置了多个排出功能液的喷头的滑架的功能液排出装置，其能够提高功能液的排出位置的精度。功能液排出装置(1)扫描工件(W)并将功能液排出到该工件(W)上进行描绘，其包括：设置有多个对工件(W)排出功能液的喷头(24)并具有使该喷头(24)在θ轴方向上旋转的旋转机构的滑架(23)；拍摄工件(W)的摄像部；和对每个喷头(24)控制旋转机构和排出时刻的控制部(150)。控制部(150)使功能液从相对于装置(1)对位并固定后的滑架(23)的喷头(24)排出到工件(W)上，基于该功能液的拍摄结果，控制该喷头的旋转机构和排出时刻，进行该喷头的θ轴方向的对位和扫描方向的功能液的排出位置的调整。

技术领域

本发明涉及对工件排出功能液进行描绘的功能液排出装置和该功能液排出装置的功能液排出位置调整方法。

背景技术

当前，作为使用功能液对工件进行图案化的装置，已知有使该功能液作为液滴进行排出的喷墨方式的功能液排出装置。功能液排出装置在制造例如有机EL装置、滤色片、液晶显示装置、等离子体显示器(PDP装置)、电子放出装置(FED装置、SED装置)等的电光学装置(平板显示器：FPD)时等被广泛使用。

在功能液排出装置中，要求功能液的排出位置的正确性。但是，当前，没有排出功能液的排出头的安装位置的调整机构，排出头的安装位置即从排出头排出功能液的排出位置由该排出头的机械加工精度决定。因此，存在从排出头排出的功能液的排出位置即着落位置的精度不够的情况。

为了提高功能液的液滴的着落精度，在专利文献1中，在具有支承多个功能液排出头的单一的滑架的功能液排出装置中，功能液排出头经由能够使该功能液排出头在滑架的面方向上移动的位置调整装置被固定于滑架。

另外，在专利文献2中，在多个滑架各自具有多个功能液排出头的功能液排出装置中，为了简单地校正着落误差，采用以下的结构。即，利用对准用排出图案数据，从功能液排出头排出功能液，在工件上的检查区域描绘在副扫描方向上连续的功能液的液滴的点线，分别拍摄与各滑架对应的点线，识别与设计基准的着落误差。接着，基于着落误差的识别结果来校正各滑架的相对位置。

此外，在功能液排出装置中，如专利文献2那样，通过在各滑架设置多个功能液排出头，搭载多个滑架，从而容易进行功能液排出头的维护。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-246130号公报

专利文献2：日本特开2006-44059号公报

发明要解决的技术问题

如上所述，需要提高功能液的液滴的着落精度，但是，在专利文献1记载的方法中，不进行滑架的对准，所以功能液排出头的安装位置的调整幅度变大。因此，需要增大该安装位置的调整单元。另外，在滑架上设置有多个功能液排出头，但功能液排出头间的空间受到限制。因此，在专利文献1记载的方法中无法将上述调整单元搭载在滑架上，所以实际上难以调整功能液的着落位置。

另外，在专利文献2记载的方法中，在各滑架内不进行功能液排出头的对准，因此，存在功能液的着落位置的精度不够的情况。

发明内容

本发明是基于上述问题而完成的，其目的在于，在具有设置有多个对工件排出功能液的功能液排出头(喷头)的滑架的功能液排出装置中，提高功能液的排出位置/着落位置的精度。

用于解决问题的技术方案