[发明专利]微机电光学波长参考标准具有效
| 申请号： | 201710610657.3 | 申请日： | 2017-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN109298504B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 吴亚明;徐静 | 申请（专利权）人： | 安徽中科米微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/18 | 分类号： | G02B7/18;G02B26/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微机 光学 波长 参考 标准 | ||
1.一种微机电光学波长参考标准具，其特征在于，包括：
法布里-珀罗干涉腔，包括相对设置的第一光学反射镜和第二光学反射镜，且所述第一光学反射镜和所述第二光学反射镜中间设置间隔体；
所述第一光学反射镜为由对称分布的双材料悬臂梁支撑的可动薄膜反射镜，所述第二光学反射镜为固定光学反射镜；
所述双材料悬臂梁，包括悬臂梁主体和覆盖于所述悬臂梁主体表面的薄膜层，所述悬臂梁主体与所述薄膜层具有不同的热膨胀系数；
所述双材料悬臂梁能够推动所述第一光学反射镜沿着所述法布里-珀罗干涉腔的法线方向移动。
2.根据权利要求1所述的微机电光学波长参考标准具，其特征在于，所述薄膜层由二氧化硅、金属或聚合物制造而成。
3.根据权利要求1所述的微机电光学波长参考标准具，其特征在于，所述第二光学反射镜采用玻璃或硅材料制造而成。
4.根据权利要求1所述的微机电光学波长参考标准具，其特征在于，所述第一光学反射镜靠近所述第二光学反射镜的一侧镀制第一光学反射膜，远离所述第二光学反射镜的一侧镀制第一光学增透膜；所述第二光学反射镜靠近所述第一光学反射镜的一侧镀制第二光学增透膜，远离所述第一光学反射镜的一侧镀制第二光学反射膜。
5.根据权利要求1所述的微机电光学波长参考标准具，其特征在于，所述间隔体中部设置一通光孔。
6.根据权利要求1所述的微机电光学波长参考标准具，其特征在于，所述间隔体由二氧化硅、玻璃、硅、金属或聚合物制造而成。
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