[发明专利]柔性OLED阵列基板及其制作方法

说明书

本发明公开了一种柔性OLED阵列基板，其包括柔性基板、阻挡层、缓冲层、有源层、第一栅极绝缘层、第一栅极、第二栅极绝缘层、第二栅极、第一层间介电层、第二层间介电层、钝化层以及像素定义层。本发明还提供一种柔性OLED阵列基板的制作方法。本发明通过第二栅极绝缘层上第一栅极绝缘层刻蚀孔和第二栅极绝缘层刻蚀孔；以及第一层间介电层上第一层间介电层刻蚀孔以及第二层间介电层刻蚀孔的设置；提高了对应柔性OLED显示面板的使用稳定性以及使用寿命。

技术领域

本发明涉及柔性显示面板领域，特别是涉及一种柔性OLED阵列基板及其制作方法。

背景技术

柔性OLED显示面板凭借其轻薄、柔性高、可弯曲以及可折叠等优点成为下一代显示技术争相研究的热点。为了获得更理想的柔性效果，柔性OLED显示面板的柔性OLED阵列基板会采用柔性材料基板取代超薄金属片，从而得到更好的柔性效果。

但是现有的柔性OLED阵列基板具有很多无机膜层，无机膜层之间的应力差异可能会导致无机膜层的脱落和柔性OLED阵列基板的翘曲，进而影响柔性OLED显示面板的使用寿命和稳定性。同时柔性OLED阵列基板中的有机膜层经过多次弯曲之后也容易形成裂纹，进而破坏柔性OLED显示面板内器件的结构。因此现有的柔性OLED显示面板的使用稳定性较差、使用寿命也较短。

故，有必要提供一种柔性OLED阵列基板及其制作方法，以解决现有技术所存在的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可提高对应柔性OLED显示面板的使用稳定性以及使用寿命的柔性OLED阵列基板及其制作方法；以解决现有的柔性OLED显示面板的使用稳定性较差且使用寿命也较短的技术问题。

本发明实施例提供一种柔性OLED阵列基板，其包括：

柔性基板；

阻挡层，设置在所述柔性基板上，用于阻挡外部水气以及氧气；

缓冲层，设置在所述阻挡层上；

有源层，设置在所述缓冲层上，包括位于所述有源层中部的沟道、位于所述有源层一侧的源极掺杂层和位于所述有源层另一侧的漏极掺杂层；

第一栅极绝缘层，设置在所述缓冲层和所述有源层上；

第一栅极，设置在所述第一栅极绝缘层上；

第二栅极绝缘层，设置在所述第一栅极绝缘层和所述第一栅极上，所述第二栅极绝缘层上设置有贯通到所述第一栅极绝缘层的第一栅极绝缘层刻蚀孔和贯通到所述缓冲层的第二栅极绝缘层刻蚀孔；

第二栅极，设置在所述第二栅极绝缘层上；

第一层间介电层，设置在所述第二栅极绝缘层和所述第二栅极上；所述第一层间介电层上设置有贯通至所述第一栅极绝缘层刻蚀孔的第一层间介电层刻蚀孔以及贯通至所述缓冲层的第二层间介电层刻蚀孔；

第二层间介电层，设置在所述第一层间介电层上，所述第二层间介电层上设置有贯通至所述源极掺杂层的源极电极以及贯通至所述漏极掺杂层的漏极电极；

钝化层，设置在所述第二层间介电层上，所述钝化层上设置有贯通至所述源极电极的金属阳极；以及

像素定义层，设置在所述钝化层上。

在本发明所述的柔性OLED阵列基板中，所述第二栅极绝缘层上的每个像素区域设置有至少两个第一栅极绝缘层刻蚀孔以及至少两个第二栅极绝缘层刻蚀孔。

在本发明所述的柔性OLED阵列基板中，至少两个所述第一栅极绝缘层刻蚀孔对称设置在所述沟道的两侧；至少两个所述第二栅极绝缘层刻蚀孔对称设置在所述沟道的两侧。