[发明专利]一种聚焦离子束显微镜机台有效
| 申请号： | 201710608136.4 | 申请日： | 2017-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN107437488B | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 李成 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/26 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 潘中毅;熊贤卿 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 聚焦 离子束 显微镜 机台 | ||
1.一种聚焦离子束显微镜机台，其特征在于，包括：电镜镜头(1)、腔室(2)以及交换仓(3)；
所述腔室(2)的底部设置有观测台(4)，在所述观测台(4)上固定连接有支撑台(5)，所述电镜镜头(1)垂直贯穿所述腔室(2)的顶部，且正对所述支撑台(5)；
所述交换仓(3)贯穿所述腔室(2)的侧壁且固定在所述交换仓(3)上，所述交换仓(3)设置有开孔(10)，且所述开孔(10)正对所述支撑台(5)；
所述交换仓(3)中设置有样品台(6)、样品底座(7)以及操纵杆(8)，所述操纵杆(8)与所述样品台(6)之间卡扣连接，所述样品底座(7)与所述样品台(6)之间固定连接；
所述样品底座(7)上设置有第一凹槽，且所述第一凹槽的横截面为倒梯形或者矩形；
当所述第一凹槽的横截面为倒梯形时，所述第一凹槽的侧边与上底边之间的夹角范围为35～90度。
2.根据权利要求1所述的聚焦离子束显微镜机台，其特征在于，所述支撑台(5)与所述电镜镜头(1)之间的距离为17～27毫米。
3.根据权利要求1所述的聚焦离子束显微镜机台，其特征在于，所述开孔(10)的横截面为矩形。
4.根据权利要求1所述的聚焦离子束显微镜机台，其特征在于，所述样品底座(7)为圆盘状，且所述样品底座(7)的底面直径范围为50～55毫米。
5.根据权利要求1所述的聚焦离子束显微镜机台，其特征在于，所述样品底座(7)通过螺丝与所述样品台(6)固定连接。
6.根据权利要求1所述的聚焦离子束显微镜机台，其特征在于，所述第一凹槽的底部宽度范围为10～35毫米。
7.根据权利要求3所述的聚焦离子束显微镜机台，其特征在于，所述开孔(10)的横截面的长度范围为55～65毫米，宽度范围为31～41毫米。
8.根据权利要求4所述的聚焦离子束显微镜机台，其特征在于，所述支撑台(5)上设置有第二凹槽，所述第二凹槽与所述样品台(6)正对，且所述第二凹槽的宽度不小于所述样品底座(7)的底面直径。
9.根据权利要求8所述的聚焦离子束显微镜机台，其特征在于，所述第二凹槽的侧壁上固定连接有一弹片(9)，且所述弹片(9)与所述第二凹槽的侧壁形成夹角。
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