[发明专利]一种直板型单刀单掷开关单片集成衰减器

权利要求书

1.一种直板型单刀单掷开关单片集成衰减器，其特征在于，所述射频衰减器包括：

衬底，所述衬底为所述射频衰减器的基座承载体；

两个T型结，两个所述T型结根据衬底通过中心点的轴线上对称设置，所述T型结具有两个处在同一直线上的平行端及一个垂直端，其中两个所述T型结位置相对的两个平行端之间构成一个衰减通道，另外两个所述T型结位置相对的两个平行端之间构成一个短路通道；

在衰减通道上依次布置有第一衰减开关、衰减模块及第二衰减开关；

在短路通道上依次布置有第一短路开关、及第二短路开关；

所述第一衰减开关、第二衰减开关、第一短路开关及第二短路开关均采用直板型上电极及带悬臂梁单触点结构的下电极。

2.根据权利要求1所述的一种直板型单刀单掷开关单片集成衰减器，其特征在于，所述第一衰减开关、第二衰减开关、第一短路开关及第二短路开关均包括：

上电极，所述上电极为直板型结构，所述上电极一端通过锚点固定在所述信号线上，所述上电极中部及另一端延伸于所述衬底水平面上方；

所述上电极为一个长方体；

下电极，所述下电极包括悬臂梁和触点，所述悬臂梁一端通过锚点固定在信号线上，另一端延伸于所述衬底水平面上方，置于所述上电极另一端竖直下方，并于面向所述上电极的一端设置有触点；

驱动电极，所述驱动电极置于所述固定上电极的信号线及固定悬臂梁悬的信号线之间，并所述上电极与所述驱动电极对应的位置上设置有释放孔阵列。

引线，所述引线设置在衬底上，与驱动电极相连。

3.根据权利要求2所述的一种直板型单刀单掷开关单片集成衰减器，其特征在于，在衰减通道上，所述衰减模块两端均通过所述信号线与所述下电极连接；

在所述短路通道上，两个下电极通过另一信号线连接。

4.根据权利要求3所述的一种直板型单刀单掷开关单片集成衰减器，其特征在于，所述第一衰减开关、衰减模块、第二衰减开关、第一短路开关及第二短路开关通过信号线整体构成未闭合的框架；

在所述框架内侧及外侧均设置有地线。

5.根据权利要求4所述的一种直板型单刀单掷开关单片集成衰减器，其特征在于，所述框架的信号线以及内外侧的地线四个转角处均具有一等腰三角形的缺口。

6.根据权利要求4所述的一种直板型单刀单掷开关单片集成衰减器，其特征在于，在所述框架内侧及外侧的地线上架设有空气桥。

7.根据权利要求2所述的一种直板型单刀单掷开关单片集成衰减器，其特征在于，所述释放孔阵列包括多个呈阵列状布置的释放孔；

所述释放孔阵列包括3-4排；任意一排的释放孔数量为6-10个；

所述释放孔直径大小为6-10μm，纵向或横向任意相近两个释放孔之间间距为10-20μm。

8.根据权利要求4所述的一种直板型单刀单掷开关单片集成衰减器，其特征在于将开关和衰减模块单片集成。

9.根据权利要求4所述的一种直板型单刀单掷开关单片集成衰减器，其特征在于所述衰减模块材料包含但不仅限于氮化坦。