[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀装置

说明书

技术领域

本发明涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀坩埚和蒸镀装置。

背景技术

在大尺寸的有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示器的蒸镀制程方面，线蒸发源较点蒸发源有很大的优势，例如成膜均匀性好、材料利用率高等。线蒸发源是使用坩埚承装有机材料，坩埚口配有坩埚盖，坩埚盖上具有多个喷嘴，通过对坩埚进行加热，使其中的有机材料从喷嘴喷出至基板上成膜。由于喷嘴的口径较小，在蒸镀制程中，当升温速率异常，或者有机材料灰化严重时，会导致有机材料堵塞喷嘴口。而喷嘴堵口会严重影响膜厚均匀性，产生显示亮度不均匀等问题。而且，一旦喷嘴堵口，操作员必须停止蒸镀制程，关闭蒸镀装置并开腔处理，这样严重影响了显示面板的生产进度，增加人物力及时间成本。

发明内容

针对以上的问题，本发明的目的是提供一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，防止坩埚盖上的喷嘴堵口。

为了解决背景技术中存在的问题，一方面，本发明提供了一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体及设于所述坩埚本体上的坩埚盖，所述坩埚盖具有喷嘴，所述喷嘴凸设于所述坩埚盖上，且设于背离所述坩埚本体的一侧，用于喷出所述坩埚本体中的有机材料，所述喷嘴具有顶壁和内壁，所述顶壁朝向于背离所述坩埚本体的一侧，所述内壁连接于所述顶壁与所述坩埚盖之间，以形成所述有机材料的输运通道，所述蒸镀坩埚还包括设于所述喷嘴外围的加热器，所述加热器用于产生热量，所述热量传导至所述内壁，所述内壁具有至少一个相对于所述喷嘴的轴向倾斜的第一表面，以增加所述内壁的热辐射量，以使所述内壁升温或保持温度，防止所述有机材料粘附于所述内壁。

其中，所述坩埚盖具有底壁，所述底壁与所述顶壁相对设置，所述内壁连接于所述顶壁与所述底壁之间，所述内壁与所述顶壁的连接处形成第一端口，所述第一端口呈圆形，所述内壁与所述底壁的连接处形成第二端口，所述第一端口正对于所述第二端口，且所述第一端口的尺寸小于所述第二端口的尺寸。

其中，所述第二端口的尺寸是所述第一端口的尺寸的1.1～5倍。

其中，所述第一表面与所述喷嘴的轴向形成第一夹角，所述第一夹角为5°～90°。

其中，所述内壁与所述顶壁的连接处形成第一端口，所述第一端口呈圆形，所述内壁具有凹槽，所述第一表面位于所述凹槽内。

其中，所述凹槽的延伸方向与所述喷嘴的轴向一致或与所述喷嘴的轴向形成0°～5°的夹角。

其中，所述内壁与所述顶壁的连接处形成第一端口，所述第一端口呈圆形，所述内壁还具有凸起，所述第一表面位于所述凸起上。

其中，所述凸起的延伸方向与所述喷嘴的轴向一致或与所述喷嘴的轴向形成0°～5°的夹角。

其中，所述坩埚盖具有底壁，所述底壁与所述顶壁相对设置，所述内壁连接于所述顶壁与所述底壁之间，所述内壁与所述底壁的连接处形成第二端口，所述第二端口正对于所述第一端口，且所述第一端口的尺寸小于所述第二端口的尺寸。

另一方面，本发明还提供了一种蒸镀装置，包括上述任一实施方式所述的蒸镀坩埚。

相较于现有技术，本申请至少具有以下的有益效果：

本申请通过在喷嘴的内壁设置至少一个相对于所述喷嘴的轴向倾斜的第一表面，该第一表面的面积大于平行于所述喷嘴的轴向的表面面积，与现有技术中喷嘴的圆柱形内壁相比，本申请提供的喷嘴的内壁表面积增加，进而喷嘴的内壁热辐射量增加，以确保所述喷嘴的内壁保持一定的温度，防止有机材料粘附于喷嘴的内壁。此外，通过调节第一表面的面积和个数，可以调节喷嘴的内壁热辐射量，以使所述喷嘴的内壁的温度保持合适的范围，以便于有机材料顺利通过所述喷嘴内壁及从所述喷嘴喷出，这样可以减少喷嘴堵口的风险，有效避免喷嘴堵口而导致的膜厚均匀性差，显示器显示不良等问题；此外，本申请实施例通过增大热辐射面积来增加热辐射值，可以降低输出功率，节能。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的一种蒸镀坩埚结构示意图。

图2是图1中的喷嘴沿AA`方向的剖面图。

图3是本发明第一实施例提供的喷嘴结构示意图。

图4是本发明第二实施例提供的喷嘴结构示意图。

图5是图4中一种实施方式中的喷嘴沿BB`方向的剖面图。