[发明专利]电子枪专用多工位预处理装置

说明书

本发明公开了一种电子枪专用多工位预处理装置，涉及电子枪技术，特别涉及电子枪预处理技术；本发明所要解决的技术问题是，能够对多支电子枪同时进行预处理，提高处理的工作效率和便利性；其特征在于：该装置包括电子枪主体存放管道、电子枪变径接口、超高真空阀、离子泵等；所述电子枪主体存放管道壁上设置有多个电子枪变径接口；由于采用上述结构，可以同时进行多支电子枪的耐压测试、分解、激活与老化，实现每支电子枪的真空独立，各工位不必同时使用，提高了电子枪预处理的效率和便利性，并能大幅度缩短电子枪进入正常工作状态的周期。

技术领域

本发明涉及电子枪技术，特别涉及电子枪预处理技术。

背景技术

电子加速器是将带电粒子进行加速的装置，其中电子直线加速器是利用高微波功率在行波、驻波加速结构中建立纵向电场对电子束进行加速的一种谐振式加速器，它可以将极大的束流提高到极高的能量，因而在加速器中占有独特的地位；电子枪是电子直线加速器不可或缺的重要构件，它发射出具有一定能量、一定流强、一定束流直径和发射角的电子束流注入到加速器的加速管中，也是一种真空电子器件。

电子枪组装完成以后，在等待交付给使用厂家、直到安装出束期间，有一个运输、入库存放和分解激活的过程，单是分解激活就大约需要很多天，期间电子枪要持续维持在真空状态，以实现耐压测试、材料除气、阴极灯丝激活和老化等工艺；在电子枪安装前经常需要对电子枪进行测试，以获得包括导流系数、阴极分解激活对应的电流电压等电数据，从而对电子枪运行前的状态参数进行标定和记录，方便与运行后的参数作对比，也要经历前述过程；再者，一般一支电子枪的使用寿命大约为数千小时，属于寿命器件，每更换一支电子枪，都需要首先对其进行上述预处理，方能连接加速器主机进行正常工作。因此需要一种装置能在真空状态下实现上述预处理工艺过程。

王贵诚等报告了一种电子枪预处理真空装置(20OMeV直线加速器氧化物阴极栅控电子枪的激活与老化.中国科技大学学报，1985年3月增刊:137-140.)，它是采用法拉第筒的结构，但该装置每次只能处理一支电子枪，工作效率低，不利于进行电子枪的批量生产加工；同时若对每一支电子枪都配置一套相应的装置则增加了生产成本，也带来不便利。除此之外，还未见用于批量生产的电子枪预处理装置的报道。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，提供一种电子枪专用多工位预处理装置，能够对多支电子枪同时进行预处理，提高工作效率和便利性。

为达到上述目的，本发明的技术方案是，该装置包括电子枪主体存放管道3、电子枪变径接口4、左端变径法兰2和右端变径法兰7、用于保持真空的超高真空阀1和超高真空挡板阀5还有超高真空插板阀6、离子泵8、支撑平台9；电子枪主体存放管道3的右端设置有超高真空插板阀6和右端变径法兰7，与离子泵8对接，用来建立并维持管道真空度，左端设置有左端变径法兰2，与超高真空阀1对接，用于连接分子泵进行初期真空处理；电子枪主体存放管道3壁上设置有多个电子枪变径接口4，每个接口可以连接一只电子枪；支撑平台9用于安放、固定上述装置。

电子枪主体存放管道3壁上均匀设置2-10个电子枪变径接口4，以便同时处理更多的电子枪。

在电子枪主体存放管道3基础上，以相似的结构作为电子枪主体存放延长管，顺序对接，使电子枪变径接口4随之增多，以便同时处理更多的电子枪。

电子枪主体存放管道3端面设置有法兰，右端变径法兰7与离子泵8的法兰对接，左端变径法兰2与超高真空阀1对接，左端也可以在增加工位时与主体存放延长管的法兰对接。

电子枪主体存放管道3表面有一个开口焊接一个标准刀口法兰用来安装冷规11，用于连接真空计读取管道真空度，对管道真空度进行监测。

电子枪变径接口4的管腔与电子枪主体存放管道3之间设置有超高真空挡板阀5，用以控制电子枪内部与真空管道真空环境的通断，并且做到任意一支电子枪可独立拆卸而不破坏电子枪主体存放管道3的真空。