[发明专利]物镜保护装置、物镜系统以及光刻设备

权利要求书

1.一种物镜保护装置，其特征在于，所述物镜保护装置包括一主体结构，所述主体结构具有送气单元和抽排单元，所述送气单元输出气体，所述抽排单元对所述送气单元输出的气体进行抽排，从而在所述送气单元和所述抽排单元之间形成至少一层风幕；所述送气单元和所述抽排单元位于主体结构的内侧，且相对设置；

所述送气单元具有送气面，所述送气面包括多个不在一个平面的子送气面，多个所述子送气面形成阶梯型；所述抽排单元具有第一抽气面，所述第一抽气面包括不在一个平面的多个子第一抽气面，多个所述子第一抽气面形成阶梯型；所述送气面与所述第一抽气面相对设置；所述送气面垂直于所述送气单元的送气方向，所述第一抽气面垂直于所述送气单元的送气方向；

所述主体结构还包括第二抽排单元，所述第二抽排单元具有第二抽气面，所述第二抽气面位于所述主体结构下表面；所述第二抽排单元设有第二抽排腔，所述第二抽气面将气体抽至所述第二抽排腔；所述抽排单元包括第一抽排腔，所述第一抽排腔和所述第二抽排腔相互连通；

所述第二抽气面设有若干第二抽气口，所述第二抽气面为环形；所述第二抽气口绕所述主体结构一周分布，以使所述第二抽气口将所述风幕围住。

2.如权利要求1所述的物镜保护装置，其特征在于，所述送气面上设有至少一个送气口，所述第一抽气面上设有至少一个第一抽气口。

3.如权利要求1或2所述的物镜保护装置，其特征在于，所述送气面和/或所述第一抽气面轴对称分布。

4.如权利要求1所述的物镜保护装置，其特征在于，多个所述子送气面之间平行分布。

5.如权利要求1所述的物镜保护装置，其特征在于，所述送气单元还设有若干个非送气面，所述非送气面上不设有送气口。

6.如权利要求5所述的物镜保护装置，其特征在于，所述非送气面与所述送气面呈一夹角。

7.如权利要求6所述的物镜保护装置，其特征在于，所述夹角范围为85°～95°。

8.如权利要求1所述的物镜保护装置，其特征在于，所述多个子第一抽气面之间平行分布。

9.如权利要求1所述的物镜保护装置，其特征在于，所述抽排单元还设有非抽气面，所述非抽气面上不设有第一抽气口。

10.如权利要求9所述的物镜保护装置，其特征在于，所述非抽气面与所述第一抽气面呈一夹角。

11.如权利要求10所述的物镜保护装置，其特征在于，所述夹角为85°～95°。

12.如权利要求1所述的物镜保护装置，其特征在于，所述送气单元上具有若干送气口，所述抽排单元具有若干第一抽气口，所述若干送气口与所述若干第一抽气口对向设置。

13.如权利要求12所述的物镜保护装置，其特征在于，所述若干送气口与所述若干第一抽气口一一对应。

14.如权利要求12所述的物镜保护装置，其特征在于，所述送气单元具有进气口，所述进气口与若干送气口均连通；所述抽排单元具有排气口，所述排气口与若干第一抽气口均连通。

15.如权利要求14所述的物镜保护装置，其特征在于，所述送气单元包括送气腔，所述进气口与所述送气腔连通，气体从所述进气口进入所述送气腔，由送气口输出。

16.如权利要求14所述的物镜保护装置，其特征在于，所述抽排单元包括第一抽排腔，所述排气口与所述第一抽排腔连通，气体从第一抽气口进入所述第一抽排腔，由所述排气口排出。