[发明专利]一种用于硅芯炉的硅芯取放料装置

权利要求书

1.一种用于硅芯炉的硅芯取放料装置，包括料盘连接轴（1）、籽晶夹头（5）、料盘（7）、取料板（9）和伸缩机构（10），其特征是：所述料盘（7）设置在上炉室（6）内，在料盘（7）的中部设有料盘连接轴（1），所述料盘连接轴（1）的上端连接设置在上炉室（6）上端面的料盘旋转机构，在料盘（7）上设有复数个放料工位（8），在料盘（7）的左端设有软轴（3），所述软轴（3）的上端连接设置在上炉室（6）上端面的升降机构，软轴（3）的下端连接机械手（4），在所述机械手（4）的下面设有籽晶夹头（5），在料盘（7）下方上炉室（6）的侧壁上设有伸缩机构（10），所述伸缩机构（10）的伸缩杆连接取料板（9），在所述取料板（9）的上面间隔设有复数个取料工位（2），在每个取料工位（2）上分别设有籽晶夹头（5）形成所述的用于硅芯炉的硅芯取放料装置。

2.根据权利要求1所述的用于硅芯炉的硅芯取放料装置，其特征是：所述取料板（9）的左端面设有向右端面凹陷的凹槽（11），在所述凹槽（11）的上面间隔设有复数个取料工位（2）。

3.根据权利要求2所述的用于硅芯炉的硅芯取放料装置，其特征是：所述凹槽（11）的水平中心线对应机械手（4）的轴向中心线。

4.根据权利要求1所述的用于硅芯炉的硅芯取放料装置，其特征是：所述取料板（9）上设置的取料工位（2）为四个。

5.根据权利要求1所述的用于硅芯炉的硅芯取放料装置，其特征是：所述伸缩机构（10）为电动推杆或液压气缸。

6.根据权利要求1所述的用于硅芯炉的硅芯取放料装置，其特征是：所述料盘（7）为圆形结构，在料盘（7）外缘面的左右两侧分别设有弧形缺口，在料盘（7）上设置四个放料工位（8）。