[发明专利]膜厚监控仪与蒸镀机

说明书

本发明提供一种膜厚监控仪与蒸镀机。本发明的膜厚监控仪包括：壳体、设于所述壳体内的转盘、设于所述壳体内且固定于所述转盘上的数个膜厚监测传感器、设于所述壳体上的窗口、及安装于所述窗口上的风扇，所述转盘转动时带动所述数个膜厚监测传感器依次经过所述窗口。通过在壳体的窗口上安装风扇，蒸镀过程中挥发至所述窗口处的有机小分子材料减少，降低沉积于膜厚监测传感器表面的膜厚，从而延长膜厚监测传感器的使用寿命，进而减少打开蒸镀机的腔体的次数，提高蒸镀机的稼动率及产能。本发明的蒸镀机通过安装上述膜厚监控仪减少了使用过程中打开蒸镀机的腔体的次数，提高了蒸镀机的稼动率及产能。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种膜厚监控仪与蒸镀机。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示器，也称为有机电致发光显示器，是一种新兴的平板显示装置，由于其具有制备工艺简单、成本低、功耗低、发光亮度高、工作温度适应范围广、体积轻薄、响应速度快，而且易于实现彩色显示和大屏幕显示、易于实现和集成电路驱动器相匹配、易于实现柔性显示等优点，因而具有广阔的应用前景。

OLED按照驱动方式可以分为无源矩阵型OLED(Passive Matrix OLED，PMOLED)和有源矩阵型OLED(Active Matrix OLED，AMOLED)两大类，即直接寻址和薄膜晶体管(TFT，Thin Film Transistor)矩阵寻址两类。其中，AMOLED具有呈阵列式排布的像素，属于主动显示类型，发光效能高，通常用作高清晰度的大尺寸显示装置。

OLED通常包括：基板、设于基板上的阳极、设于阳极上的空穴注入层(Hole InjectLayer，HIL)、设于空穴注入层上的空穴传输层(Hole Transport Layer，HTL)、设于空穴传输层上的发光层、设于发光层上的电子传输层(Electron Transport Layer，ETL)、设于电子传输层上的电子注入层(Electron Inject Layer，EIL)、及设于电子注入层上的阴极。OLED显示器件的发光原理为半导体材料和有机发光材料在电场驱动下，通过载流子注入和复合导致发光。具体的，OLED显示器件通常采用ITO像素电极和金属电极分别作为器件的阳极和阴极，在一定电压驱动下，电子和空穴分别从阴极和阳极注入到电子传输层和空穴传输层，电子和空穴分别经过电子传输层和空穴传输层迁移到发光层，并在发光层中相遇，形成激子并使发光分子激发，后者经过辐射弛豫而发出可见光。

目前OLED的主流制备方法是蒸镀法，即在OLED蒸镀机的腔体内加热有机小分子材料，使其升华或者熔融气化成材料蒸汽，透过金属光罩的开孔沉积在基板上。

通常，OLED蒸镀机的腔体内都设有膜厚监控仪(Thickness Monitor)，所述膜厚监控仪包括壳体、设于所述壳体内的转盘、设于所述壳体内且固定于所述转盘上的数个膜厚监测传感器(sensor)，所述壳体上设有一窗口，所述膜厚监控仪使用时，所述数个膜厚监测传感器中的一个移至该窗口处，蒸镀时，真空OLED蒸镀机的腔体内的有机小分子材料挥发至该窗口，并沉积于膜厚监测传感器的表面，所述膜厚监测传感器通过监测自身表面的膜厚经过换算后得出镀在基板表面的膜厚。

一旦位于窗口处的膜厚监测传感器表面的膜厚达到一定程度时，该膜厚监测传感器即达到其使用寿命，无法继续工作，因此需要转动转盘，使其它膜厚监测传感器移动至该窗口处继续工作，当所述转盘上的所有膜厚监测传感器均达到使用寿命时，就需要打开OLED蒸镀机的腔体，更换膜厚监控仪中的所有膜厚监测传感器，由于现有的OLED制程中，OLED蒸镀机的使用频率较高，使得膜厚监测传感器的使用寿命较短，因此需要频繁打开OLED蒸镀机的腔体，从而降低了OLED蒸镀机的稼动率及产能，进而降低了OLED生产效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种膜厚监控仪，能够延长膜厚监测传感器的使用寿命，从而减少打开蒸镀机的腔体的次数，提高蒸镀机的稼动率及产能。