[发明专利]切割用分线网及分线网切割硅片的方法

说明书

本发明涉及一种切割用分线网，包括设置在导轮上的切割线网，其中所述切割线网的进线端和出线端分别位于导轮的头部和尾部，所述切割线网于导轮的尾部设置有切割线网间隙，使切割硅块时最后一根切割线能够不在硅块中切割。上述切割用分线网，可以地实现切割线网的最后一根切割线不在硅块中切割的目的。由于最后一根切割线不在硅块的切割范围内，缓解了切割线张力的波动，避免最后一根切割线跳线而造成断线，及避免对导轮的导轮槽的磨损。还提出一种切割用分线网的切割方法。

技术领域

本发明涉及硅片切割领域，特别是涉及一种切割用分线网及其切割硅片的方法。

背景技术

随着金切割线切割技术不断的提升，金钢线线径在从80微米-70微米-60微米逐步减小，随着金钢线线径不断降低，切割中断线也随之增加，主要是体现在放线和收线断线有明显上升趋势。

图1示意了一种传统切割用分线网切割硅块的示意图。金切割线切片线网400的第一根和尾部最后一根切割线连接放线轮410和收线轮420，在切割过程中由于钢线张力存在波动，及线网边缘对冷却液携带不稳定造成导轮槽型磨损严重，容易造成收放线断线，造成对硅块500的损失。

发明内容

基于此，有必要针对收线容易断线的问题，提供一种切割用分线网。还提出一种分线网切割硅片的方法。

一种切割用分线网，包括设置在导轮上的切割线网，其中所述切割线网的进线端和出线端分别位于导轮的头部和尾部，所述切割线网于导轮的尾部设置有切割线网间隙，使切割硅块时最后一根切割线能够不在硅块中切割。

上述切割用分线网，可以地实现切割线网的最后一根切割线(连接至收线轮)不在硅块中切割的目的；由于最后一根切割线不在硅块的切割范围内，缓解了切割线张力的波动，避免最后一根切割线跳线而造成断线，及避免对导轮的导轮槽的磨损。

在其中一个实施例中，所述切割线网于导轮的中间位置也设置有切割线网间隙。

在其中一个实施例中，所述切割线网间隙内的切割线设置在导轮底部。

在其中一个实施例中，所述切割线网间隙的长度不大于5mm。

在其中一个实施例中，还包括放线轮和收线轮，其中所述放线轮与切割线网的进线端之间设置有张紧滑轮，收线轮与切割线网的出线端之间也设置有张紧滑轮。

一种分线网切割硅片的方法，包括步骤：

下压硅块，利用切割线网进行切割，所述切割线网的进线端和出线端分别位于导轮的头部和尾部，所述切割线网于导轮的尾部设置有切割线网间隙，其中所述切割线网的最后一根切割线不在硅块中切割。

在其中一个实施例中，切割线网于导轮的中间位置也设有切割线网间隙，硅块设置有两个，切割线网间隙与两个硅块之间的间隙位置相对应，下压硅块时，使所述两个硅块同步下压。

在其中一个实施例中，所述切割线网在导轮的中间位置的切割线网间隙大于两个硅块之间的间隙。

在其中一个实施例中，进一步包括步骤：

对所述切割线网进行换线，且使切割线网的第一根切割线在导轮上的位置较上次的位置向导轮的尾部方向后退一个导轮槽。

在其中一个实施例中，进一步包括步骤：

保持导轮的转动状态，将定位胶带放置在切割线网间隙处，推动定位胶带沿导轮的轴向移动并带动位于切割线网间隙一侧的切割线网移动，从而改变切割线网间隙的长度。

附图说明

图1为传统切割用分线网进行切割的示意图；

图2为本发明一个实施例的切割用分线网的示意图。

具体实施方式