[发明专利]电子背散射衍射仪

权利要求书

1.一种电子背散射衍射仪，包括真空样品室，所述真空样品室内设置有样品台，其特征在于：还包括用于向所述样品台发射电子脉冲的电子枪、用于发射二倍频激光的缺陷调控光路以及用于分析背散射衍射图像的处理单元，所述电子枪的电子脉冲聚焦后采用65-70度的入射角射至所述样品台的样品上，所述缺陷调控光路的二倍频激光由第二入射窗口透射至所述真空样品室内的所述样品台的样品上，所述缺陷调控光路上设置有激光脉冲能量调节装置以及激光脉冲扫描装置，所述处理单元包括用于接收衍射图像的接收组件以及分析接收后衍射图像以控制所述激光脉冲能量调节装置以及所述激光脉冲扫描装置的控制中心。

2.如权利要求1所述的电子背散射衍射仪，其特征在于：还包括用于发射三倍频激光的检测光路，所述检测光路的三倍频激光入射至所述电子枪的光电阴极。

3.如权利要求2所述的电子背散射衍射仪，其特征在于：还包括激光发射器，所述激光发射器的发出光通过分光光路分别进入所述检测光路以及所述缺陷调控光路内。

4.如权利要求3所述的电子背散射衍射仪，其特征在于：所述分光光路包括第一分束镜、激光二倍频装置、第二分束镜以及激光三倍频装置，所述激光发射器的发出光经所述第一分束镜分光后，其中一部分依次经所述激光二倍频装置、所述第二分束镜以及所述激光三倍频装置，另一部分经反射后进入所述激光三倍频装置，所述激光三倍频装置的出光口连接所述检测光路；所述激光发射器的发出光经所述激光二倍频装置作用后生成二倍频激光，且经所述第二分束镜分光后，其中一部分二倍频激光进入所述缺陷调控光路，另一部分二倍频激光进入所述激光三倍频装置内。

5.如权利要求3所述的电子背散射衍射仪，其特征在于：所述缺陷调控光路上设置有光程延时组件。

6.如权利要求1所述的电子背散射衍射仪，其特征在于：所述接收组件包括接收背散射衍射图像的背散射电子探测器、增强所述背散射电子探测器的图像信号的图像增强器以及记录所述图像增强器增强后图像信号的电荷耦合摄像机，所述背散射电子探测器至少部分位于所述真空样品室内，所述图像增强器位于所述背散射电子探测器与所述电荷耦合摄像机之间，且所述电荷耦合摄像机电连接所述控制中心。

7.如权利要求1所述的电子背散射衍射仪，其特征在于：所述电子枪的光电阴极与阳极平行相对设置，所述光电阴极与所述阳极之间设置有施加10～30千电子伏特的加速电场，且于所述阳极的中心开有一个直径为50～120微米的小孔，所述小孔覆盖有金属栅。

8.如权利要求7所述的电子背散射衍射仪，其特征在于：所述电子枪还包括聚焦组件以及偏转组件，所述聚焦组件包括供电子脉冲依次穿过的至少两个聚焦镜以及供所述聚焦镜聚焦后的电子脉冲穿过的物镜，所述偏转组件安设于所述物镜上。

9.如权利要求1所述的电子背散射衍射仪，其特征在于：还包括真空泵，所述真空泵与所述真空样品室之间通过电磁阀控制通断。

10.如权利要求1所述的电子背散射衍射仪，其特征在于：所述样品台为五轴控制台，所述五轴控制台包括X轴、Y轴、Z轴、第一旋转轴以及第二旋转轴，且所述第一旋转轴垂直于所述第二旋转轴。