[发明专利]一种单自由度微位移组件

权利要求书

1.一种单自由度微位移组件，其特征在于，包括底座、第一移动部件、第二移动部件、位移微调部件、位移测量部件及两个锁紧机构，所述底座上设有导轨，所述第一移动部件包括第一固定部、两个弹性部和两个第二固定部，所述第一固定部包括第一本体、设置在所述第一本体上的第一固定板和与所述导轨适配第一滑动块，所述第一固定板用于固定第一零件，两个所述第二固定部位于所述第一本体的两侧，各通过一所述弹性部与所述第一本体连接，所述锁紧机构包括螺纹紧固件和垫圈，所述第二固定部设有长条形安装槽，所述长条形安装槽的长度方向与所述导轨的长度方向一致，所述螺纹紧固件第一端设有外螺纹，第二端的轮廓尺寸大于所述安装槽的尺寸，所述第一端和所述第二端之间设有垫圈限位部，所述垫圈限位部的直径小于所述第一端的直径，所述垫圈设有与所述第一端匹配的外螺纹，所述垫圈套设在所述垫圈限位部处且沿所述垫圈限位部上下移动，当推动所述第二固定部沿所述导轨滑动时，所述螺纹紧固件滑入所述长条形安装槽，所述垫圈位于所述第二固定部上方，当到达预设位置时，拧紧所述螺纹紧固件，压紧所述垫圈实现对第二固定部的锁紧固定，所述第二移动部件上设有第二固定板和与所述导轨适配的第二滑动块，所述第二固定板用于固定第二零件，所述位移微调部件与所述第二移动部件连接，用于微调所述第二移动部件在所述导轨上的位置，所述位移测量部件与所述第二移动部件接触，用于测量所述第二移动部件的位移。

2.根据权利要求1所述的单自由度微位移组件，其特征在于，所述第一本体、所述两个弹性部及所述两个第二固定部一体成型。

3.根据权利要求2所述的单自由度微位移组件，其特征在于，所述第一本体、所述两个弹性部及所述两个第二固定部为弹簧钢材质，所述弹性部为厚度为1.5-2.5mm的板状结构，宽度为4-5mm，所述第一本体为厚度为8-12mm的板状结构，所述第二固定部为厚度为8-12mm的板状结构。

4.根据权利要求1所述的单自由度微位移组件，其特征在于，所述垫圈下部设有导角。

5.根据权利要求1所述的单自由度微位移组件，其特征在于，所述位移微调部件包括螺杆、螺纹支撑套和螺纹筒，所述螺杆一端与所述第二移动部件连接，另一端设有外螺纹，所述螺纹筒为空心筒结构，设有外螺纹和内螺纹，所述螺杆穿设在所述螺纹筒内且与所述螺纹筒的内螺纹配合，所述螺纹支撑套为空心环套结构，且一端设有内螺纹，所述螺纹支撑套设有内螺纹的一端套设在所述螺纹筒外与所述螺纹筒的外螺纹配合，另一端套设在所述螺杆外部，所述螺纹支撑套固定在所述底座上，当拧动所述螺纹筒时所述螺杆推动或拉动所述第二移动部件移动。

6.根据权利要求5所述的单自由度微位移组件，其特征在于，所述螺纹筒的内螺纹螺距为0.3-0.8mm，所述螺纹筒的内螺纹螺距与所述螺纹筒的外螺纹螺距相差0.01-0.09mm。

7.根据权利要求1所述的单自由度微位移组件，其特征在于，所述位移测量部件包括电感测微仪，所述电感测微仪的探头与所述第二移动部件接触。

8.根据权利要求1或7所述的单自由度微位移组件，其特征在于，还包括零度调节部件，用于与所述位移测量部件连接，以调整所述位移测量部件的零度位置。