[发明专利]真空减压干燥设备

说明书

本发明公开一种真空减压干燥设备，涉及薄膜晶体管液晶显示器的制造领域，用于解决现有技术中存在的减压干燥制程中基板上光阻及溶剂蒸汽在基板中间区域出现聚集而造成色不均现象的技术问题。本发明的真空减压干燥设备，包括盖板和腔室，盖板上的第一吹气孔阵列和第二吹气孔阵列均包括沿盖板的长边方向分布的吹气孔，因此在破真空过程中，整个腔室内部气流分布更加均匀，且吹气孔的位置离基板的中心区域距离更短，更容易影响到中心区域的气流，防止溶剂蒸汽凝结而造成基板的色不均现象。

技术领域

本发明涉及薄膜晶体管液晶显示器的制造领域，特别地涉及一种真空减压干燥设备。

背景技术

现有的真空减压干燥设备(VCD)如图1和图2所示，当基板由机械手(Robot)放至真空减压干燥设备的定位销(Pin)上后，真空减压干燥设备开始进行制程，待制程结束后向盖板内通入干燥空气(CDA)，以恢复腔室内的气压。

由于光阻是由溶剂、感光剂、树酯、添加剂组成，其中溶剂占所有成分的75％以上。当基板涂布上光阻后，基板上的光阻膜层还有较大的流动性。即使经过真空减压干燥设备的减压干燥制程后，光阻仍有较多溶剂存在，并存在一定的流动能力。当减压干燥完成后，需先通过辅助吹气孔(Slow Purge)向腔室内通入少量的干燥空气以缓慢恢复腔室内的气压，防止破片；再通过主吹气孔(Main Purge)向腔室内通入大量的干燥空气来快速恢复气压。由于现有设备中的吹气孔只分布在盖板的短边方向上且靠近盖板侧壁的六个点位处，在破真空过程中，腔室内部气流受到干燥空气的影响，而从盖板短边方向的两侧向中间部位流动，造成基板上光阻及溶剂蒸汽在基板中间区域出现聚集，严重时可造成基板的色不均现象(Mura)。

发明内容

本发明提供一种真空减压干燥设备，用于解决现有技术中存在的减压干燥制程中基板上光阻及溶剂蒸汽在基板中间区域出现聚集而造成色不均现象的技术问题。

本发明提供一种真空减压干燥设备，包括盖板和盖板内部的腔室，基板设置在所述腔室内；所述盖板的长边方向上设置有破真空装置；

所述破真空装置至少包括第一吹气孔阵列和第二吹气孔阵列，所述第一吹气孔阵列和所述第二吹气孔阵列均包括沿所述盖板的长边方向设置的多个吹气孔。

在一个实施方式中，第一吹气孔阵列中的多个所述吹气孔沿所述盖板的长边方向等间距设置；

第二吹气孔阵列中的多个所述吹气孔沿所述盖板的长边方向等间距设置。

在一个实施方式中，所述第一吹气孔阵列和所述第二吹气孔阵列关于所述盖板的中心对称设置。

在一个实施方式中，所述腔室的内部并排设置有多个用于放置基板的可升降托盘，所述可升降托盘上设置有用于支撑基板的定位销，相邻的两个所述可升降托盘之间设置有间隙。

在一个实施方式中，所述破真空装置上方设置有隔板，所述隔板包括分别设置在所述第一吹气孔阵列和所述第二吹气孔阵列上方的第一隔板和第二隔板；

所述可升降托盘处于最低点位置处时，所述第一隔板和所述第二隔板分别设置在靠近所述盖板的两个侧壁处的间隙中。

在一个实施方式中，所述第一隔板与所述吹气孔的上端面之间的距离以及所述第二隔板与所述吹气孔的上端面之间的距离均为1-2cm。

在一个实施方式中，所述吹气孔位于所述可升降托盘的下方，且所述吹气孔的轴线偏离所述间隙的中心。

在一个实施方式中，所述破真空装置与真空源通过真空管路连接，所述真空管路上设置有控制真空气体流量的三通阀。

在一个实施方式中，所述盖板包括上盖板和下盖板，所述吹气孔设置在所述下盖板上。

在一个实施方式中，所述下盖板上还设置有抽气孔，所述抽气孔设置于所述第一吹气孔阵列和所述第二吹气孔阵列之间。