[发明专利]一种真空炉内复合冷却提速成晶设备

权利要求书

1.一种真空炉内复合冷却提速成晶设备，其特征在于：包括支撑架、水冷套(4)和氩气管(2)，所述支撑架设有两个，分别固定于水冷套(4)上端相对的两端边缘，水冷套(4)呈锥形筒状，水冷套(4)内设有循环水路(8)，水冷套(4)的上端面设有循环水路(8)的进水口(7)和出水口(9)，分别连通进水管(3)和出水管(1)，进水管(3)和出水管(1)分别内置于两个支撑架内，氩气管(2)内置于设有进水管(3)的支撑架内，并贯穿于水冷套(4)内，氩气管(2)在水冷套(4)内缠绕若干圈，并焊接于水冷套(4)内壁，水冷套(4)内壁上在紧贴氩气管(2)的位置开有若干排气孔(6)，排气孔(6)连通于氩气管(2)，排气孔(6)朝向水冷套(4)中心轴线的方向。

2.根据权利要求1所述的真空炉内复合冷却提速成晶设备，其特征在于：所述氩气管(2)在水冷套(4)内缠绕两圈，其中一圈位于水冷套(4)的最底层，另一圈位于水冷套(4)靠近中间的一层。

3.根据权利要求2所述的真空炉内复合冷却提速成晶设备，其特征在于：两个支撑架均为折弯式结构，包括依次连接的第一竖管(101)、水平管(102)和第二竖管(103)，第二竖管(103)连接水冷套(4)。

4.一种包括权利要求1-3任一项所述的真空炉内复合冷却提速成晶设备的单晶炉，其特征在于：包括炉体(11)、坩埚(12)和保温套(10)，所述水冷套(4)设于坩埚(12)上方，保温套(10)包裹于水冷套(4)外围，支撑架贯穿于炉体(11)上端的炉盖。