[发明专利]有机材料蒸镀用掩膜板

说明书

本申请公开了一种有机材料蒸镀用掩膜板。该掩膜板包括框架和固定于框架上的至少一个掩膜；框架形成一封闭的开口，每一掩膜至少覆盖部分开口，并与框架焊接固定；框架为中空结构，框架的中空结构中设置有加热装置，用于提高框架的温度。该实施方式可以在清洗掩膜板时，利用加热装置来提高框架的温度，从而可以加速附着在掩膜板上的各种有机材料的溶解，改善清洗效果。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，具体涉及有机材料蒸镀用掩膜板。

背景技术

目前，现有的OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管)显示面板中，通常采用真空蒸镀工艺来形成各功能层。在蒸镀过程中，一般需要使用掩膜板。掩膜板的作用是通过开孔区将材料蒸镀至相应的位置，以形成对应的功能层。

具体地，如图1所示，坩埚11内添置有待蒸镀的OLED材料。在真空度小于10^-5Pa的环境下，坩埚11缓慢升温。当温度达到OLED材料的升华温度以后，OLED材料慢慢变成气态升华上来，如图1中所示的气态OLED材料12。气态OLED材料12穿过掩膜板13的开孔。气态分子在基板14的表面沉积，并降温凝结成固态分子。OLED材料分子在基板14上不断堆积，最终慢慢形成相应功能的薄膜层。

然而，现有的掩膜板一般是将掩膜焊接在金属框架上。金属框架往往为实心结构。在蒸镀过程中，OLED材料会附着在掩膜板上。为了避免这些附着的材料成为后续蒸镀时的异物，也避免影响蒸镀精度，因此需要对掩膜板进行清洗。但是这些附着材料很难清洗干净，尤其是焊接区域的缝隙中附着的材料。因此需要一种可以加热的掩膜板，来改善其清洗效果。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷，本申请提供了一种改进的有机材料蒸镀用掩膜板，来解决以上背景技术部分提到的技术问题。

本申请实施例提供了一种有机材料蒸镀用掩膜板，该掩膜板包括框架和固定于框架上的至少一个掩膜；框架形成一封闭的开口，每一掩膜至少覆盖部分开口，并与框架焊接固定；框架为中空结构，框架的中空结构中设置有加热装置，用于提高框架的温度。

在一些实施例中，框架为整体式结构。

在一些实施例中，框架为组合式结构。

在一些实施例中，框架包括上半部和下半部，上半部中朝向下半部的表面形成有第一凹槽，下半部中朝向上半部的表面形成有第二凹槽，第一凹槽和第二凹槽相配合形成中空结构。

在一些实施例中，框架包括上半部和下半部，上半部中朝向下半部的表面形成有凹槽，下半部中朝向上半部的表面形成有凸块，凹槽和凸块相配合形成中空结构。

在一些实施例中，框架的内表面和外表面的横截面形状包括多边形或圆形，其中，内表面为框架中形成中空结构的表面，外表面为框架中与内表面相对的表面。

在一些实施例中，加热装置包括电热丝或电热管；框架上设置有密封接口，用于向加热装置传输电力。

在一些实施例中，加热装置为金属线圈，用于在磁场作用下产生热量。

在一些实施例中，框架的材料为金属材料，其中，金属材料在0℃-350℃之间的热膨胀系数不大于2.0×10^-6/℃，包括不锈钢。

在一些实施例中，框架的材料为非金属材料，且在框架的外表面中，与掩膜焊接固定的表面镀有金属膜层。

在一些实施例中，非金属材料在0℃-350℃之间的热膨胀系数不大于2.0×10^-6/℃，包括玻璃或陶瓷；用于形成金属膜层的金属材料在0℃-350℃之间的热膨胀系数不大于2.0×10^-6/℃。