[发明专利]柔性可弯曲玻璃电致变色器及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性可弯曲玻璃电致变色器，其特征在于：在柔性可弯曲的玻璃上设置柔性GPCG多层薄膜，即GZO/PdCu/GZO薄膜，并采用叶片刮涂P3HT薄膜使得可弯曲玻璃、GPCG多层薄膜和P3HT薄膜整合成为电致变色器。

2.根据权利要求1所述的柔性可弯曲玻璃电致变色器，其特征在于：GPCG薄膜的方阻为15欧姆/方块；透光率80％。

3.一种如权利要求1所述的柔性可弯曲玻璃电致变色器的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：

步骤1.将柔性可弯曲玻璃在真空室加热到200℃除去表面湿气；然后通入450/5SCCM流量Ar/O₂在600W直流电压下进行表面等离子预处理清洗；

步骤2.在直流功率1.8kW,Ar/O₂流量300SCCM，工作压力2mTorr；柔性玻璃卷绕速度1m/min用镓掺杂氧化锌GZO旋转靶材在柔性玻璃上沉积厚度45nm的薄膜；

步骤3.在直流功率0.1到0.4kW,Ar流量300SCCM，工作压力2mTorr；柔性玻璃卷绕速度1m/mi,用Pd平面靶材在柔性玻璃GZO薄膜上沉积Pd薄膜；

步骤4.在直流功率0.1到0.4kW,Ar流量300SCCM，工作压力2mTorr；柔性玻璃卷绕速度1m/mi,用Cu平面靶材在柔性玻璃Pd薄膜上沉积Cu薄膜；

步骤5.重复步骤(2)，在Cu薄膜表面沉积与步骤2同样厚度的GZO薄膜，形成GZO/PdCu/GZO结构薄膜；

步骤6.进行结构表征，用Hall测量仪，UV-Vis光谱仪，XRD衍射仪，弯曲测量仪，四探针电阻测量仪等对GZO/PdCu/GZO的方阻，透光率，结构和柔性等进行测量；

步骤7.用去离子水清洗干净GZO/PdCu/GZO薄膜，在其表面叶片刮涂P3HT电致变色层，然后覆盖相应的GZO/PdCu/GZO/柔性玻璃制备成电致变色器；

步骤8.测量所制备的电致变色器。

4.根据权利要求3所述的柔性可弯曲玻璃电致变色器的制备方法，其特征在于：所述步骤3中，在直流功率0.1kW,Ar流量300SCCM，工作压力2mTorr；柔性玻璃卷绕速度1m/mi,用Pd平面靶材在柔性玻璃GZO薄膜上沉积Pd薄膜；同时，步骤4中，在直流功率0.1kW,Ar流量300SCCM，工作压力2mTorr；柔性玻璃卷绕速度1m/mi,用Cu平面靶材在柔性玻璃Pd薄膜上沉积Cu薄膜。

5.根据权利要求3所述的柔性可弯曲玻璃电致变色器的制备方法，其特征在于：所述步骤3中，在直流功率0.2kW,Ar流量300SCCM，工作压力2mTorr；柔性玻璃卷绕速度1m/mi,用Pd平面靶材在柔性玻璃GZO薄膜上沉积Pd薄膜；同时，步骤4中，在直流功率0.2kW,Ar流量300SCCM，工作压力2mTorr；柔性玻璃卷绕速度1m/mi,用Cu平面靶材在柔性玻璃Pd薄膜上沉积Cu薄膜。

6.根据权利要求3所述的柔性可弯曲玻璃电致变色器的制备方法，其特征在于：所述步骤3中，在直流功率0.3kW,Ar流量300SCCM，工作压力2mTorr；柔性玻璃卷绕速度1m/mi,用Pd平面靶材在柔性玻璃GZO薄膜上沉积Pd薄膜；同时，在步骤4中，在直流功率0.3kW,Ar流量300SCCM，工作压力2mTorr；柔性玻璃卷绕速度1m/mi,用Cu平面靶材在柔性玻璃Pd薄膜上沉积Cu薄膜。

7.根据权利要求3所述的柔性可弯曲玻璃电致变色器的制备方法，其特征在于：所述步骤3中，在直流功率0.4kW,Ar流量300SCCM，工作压力2mTorr；柔性玻璃卷绕速度1m/mi,用Pd平面靶材在柔性玻璃GZO薄膜上沉积Pd薄膜；同时，在步骤4中，在直流功率0.4kW,Ar流量300SCCM，工作压力2mTorr；柔性玻璃卷绕速度1m/mi,用Cu平面靶材在柔性玻璃Pd薄膜上沉积Cu薄膜。