[发明专利]脉冲等离子电源电路

权利要求书

1.一种脉冲等离子电源电路，其特征在于，包括高频基波电路、交流脉冲功率发生电路和高压耦合叠加装置，所述高频基波电路和所述交流脉冲功率发生电路分别连接高压耦合叠加装置；

所述高频基波电路：主回路配电给所述高频基波电路，主回路配电经过整流滤波后产生第一直流电压，所述第一直流电压经过逆变生成第一交流电压，所述第一交流电压再经高压整流后产生电压可调的正极性直流电压；

所述交流脉冲功率发生电路：主回路配电给所述交流脉冲功率发生电路，主回路配电经过整流滤波后产生第二直流电压，所述第二直流电压经过逆变生成第二交流电压，所述第二交流电压再经脉冲变压器转换产生高频高压交流脉冲；

所述高压耦合叠加装置将所述电压可调的正极性直流电压和所述高频交流脉冲同时输送给负载并且所述交流脉冲功率发生电路和所述高压耦合叠加装置组成LC谐振回路，所述电压可调的正极性直流电压的大小是高频基波的频率来控制，并能根据实际负载的大小来调整交流脉冲的频率。

2.根据权利要求1所述的脉冲等离子电源电路，其特征在于，所述高频基波电路包括第一整流电路、第一逆变电路和高压整流电路,所述第一整流电路、第一逆变电路和高压整流电路依次串接；

主回路配电给所述第一整流电路，所述第一整流电路对主回路配电进行整流滤波并产生第一直流电压；

所述第一逆变电路将所述第一直流电压进行逆变转换产生第一交流电压；

所述高压整流电路将所述交流电压进行高压整流，产生0～80KV可调的正极性直流电压。

3.根据权利要求1所述的脉冲等离子电源电路，其特征在于，交流脉冲功率发生电路包括第二整流电路、第二逆变电路和脉冲变压器，所述第二整流电路、第二逆变电路和脉冲变压器依次串联；

主回路配电给所述第二整流电路，所述第二整流电路对主回路配电进行整流滤波并产生第二直流电压；

所述第二逆变电路将所述第二直流电压进行逆变转换产生第二交流电压；

所述脉冲变压器的初级线圈电连接所述第二逆变电路的输出端，次级线圈连接所述高压耦合叠加装置，所述脉冲变压器给第二交流电压变压，产生频率为20KHZ～50KHZ、电压上升率大于1KV/us的高频交流脉冲。

4.根据权利要求1所述的脉冲等离子电源电路，其特征在于，高压耦合叠加装置包括隔直电容与空心电感，所述隔直电容串联空心电感；

所述高频基波电路串联所述空心电感，所述空心电感能隔离高频交流脉冲对所述高频基波电路的影响；

所述交流脉冲功率发生电路串联所述隔直电容，所述交流脉冲功率发生电路和所述隔直电容组成LC谐振回路，回收交流脉冲后半周期的能量。

5.根据权利要求2所述的脉冲等离子电源电路，其特征在于，所述第一整流电路为三相桥式整流电路。

6.根据权利要求2所述的脉冲等离子电源电路，其特征在于，所述第一逆变电路为桥式逆变电路。

7.根据权利要求2所述的脉冲等离子电源电路，其特征在于，所述高频整流电路包括高频变压器和高压整流管，所述高频变压器的初级线圈电性连接所述第一逆变电路的输出端，所述高频变压器的次级线圈串联所述高压整流管并电性连接所述高压叠加耦合装置；

所述第一逆变电路将产生的第一交流电压输入到所述高频变压器的初级线圈中，此时次级线圈感应出交流高压，感应出的交流高压经过高压整流器整流，形成0～80KV可调的正极性直流电压。

8.根据权利要求3所述的脉冲等离子电源电路，其特征在于，所述第二整流电路为三相桥式整流电路。

9.根据权利要求3所述的脉冲等离子电源电路，其特征在于，所述第二逆变电路为桥式逆变电路。