[发明专利]复合组件PVD镀膜前超精清洗工艺

权利要求书

1.一种复合组件PVD镀膜前超精清洗工艺，包含有真空超声波清洗、真空超声波漂洗、真空切水清洗、真空切液、真空碳氢超声清洗、慢拉脱水、蒸汽浴洗、真空干燥和等离子的清洗步骤，其特征在于：所述各个清洗步骤相互排列组合应用。

2.根据权利要求1所述复合组件PVD镀膜前超精清洗工艺，其特征在于所述清洗步骤还包括喷淋+曝气，先对工件置于DI水中喷淋90～240s，然后在真空度为-100Kpa的条件下曝气120～360s。

3.根据权利要求1所述复合组件PVD镀膜前超精清洗工艺，其特征在于所述清洗步骤还包括真空超燥，工件在真空度5×10^-3～7×10^-3pa的条件下，干燥600～1800s。

4.根据权利要求1所述复合组件PVD镀膜前超精清洗工艺，其特征在于，所述真空切水清洗组合真空切液清洗，所述蒸汽浴洗组合真空干燥，所述真空超声波漂洗组合慢拉脱水。

5.根据权利要求4所述复合组件PVD镀膜前超精清洗工艺，其特征在于，所述真空切水清洗组合真空切液清洗，先将工件在真空度为-80Kpa的条件下，置于碳氢切水剂(G-100W)里面上下抛动20～70Hz，切水180～420s，将产品表明的脏污、水渍及清洗剂等进行置换脱离分层，产品表面被切水剂覆盖，然后工件在真空度为-100Kpa的条件下，置于真空切液里面上下抛动20～70Hz，真空切液180～420s，碳氢切水剂含有CnH2n+2饱和链烃和表面活性剂。

6.根据权利要求4所述复合组件PVD镀膜前超精清洗工艺，其特征在于，所述蒸汽浴洗组合真空干燥，工件在真空度为-90Kpa的条件下，置于温度110～130℃碳氢蒸汽(G-100D)里面浴洗20～50s，然后在真空度为-100～-102Kpa和温度110～130℃的条件下，干燥400～600s。

7.根据权利要求4所述复合组件PVD镀膜前超精清洗工艺，其特征在于，所述真空超声波漂洗组合慢拉脱水，先将工件在超波声频率40KHz的条件下，置于DI水里面上下抛动20～70Hz，漂洗180～420s，在最后一道DI水里面漂洗完后缓慢提篮以达到慢拉脱水效果。

8.根据权利要求1所述复合组件PVD镀膜前超精清洗工艺，其特征在于所述真空超声波清洗，工件在真空度为-40Kpa和超波声频率40KHz的条件下，置于环保清洗剂(GCL-6015)里面上下抛动20～70Hz，清洗180～420s，对油污、蜡、胶等的润湿、乳化、清洗作用，所述环保清洗剂含有表面活性剂和助剂。

9.根据权利要求1所述复合组件PVD镀膜前超精清洗工艺，其特征在于所述真空碳氢真空超声波清洗，工件在真空度为-90Kpa和超声波频率40KHz的条件下，置于碳氢清洗剂(G-100D)里面上下抛动20～60Hz，清洗180～420s，将产品表明的切水剂、污渍以及夹缝里的脏污清洗掉，所述碳氢清洗剂含有癸烷和醇醚。

10.根据权利要求1所述复合组件PVD镀膜前超精清洗工艺，其特征在于，还配置循环蒸馏系统，自动状态下一直运行蒸馏回收碳氢清洗剂，以保证碳氢清洗剂的洁净度，以利于保障品质，节能资源、降低成本。