[发明专利]一种微机械惯性传感器抗温漂结构

权利要求书

1.一种微机械惯性传感器抗温漂结构，应用于微机械惯性传感器中，其特征在于，所述抗温漂结构包括：

三个紧固直梁和一个环形弹性连接结构，其中，三个紧固直梁的一端分别与微机械惯性传感器中的锚点连接，三个紧固直梁的另一端均与环形弹性连接结构连接，微机械惯性传感器中的双端固支梁一端与环形弹性连接结构连接，双端固支梁另一端与微机械惯性传感器中的敏感质量块连接；紧固直梁和双端固支梁均匀分布在环形弹性连接结构四周，均匀分布在环形弹性连接结构的紧固直梁刚度远远大于双端固支梁刚度。

2.根据权利要求1所述的微机械惯性传感器抗温漂结构，其特征在于，三个紧固直梁尺寸一致。

3.根据权利要求1所述的微机械惯性传感器抗温漂结构，其特征在于，锚点通过氧化层固定在基片上。

4.根据权利要求3所述的微机械惯性传感器抗温漂结构，其特征在于，基片材料为掺杂多晶硅或者玻璃。

5.根据权利要求1所述的微机械惯性传感器抗温漂结构，其特征在于，所述环形弹性连接结构与双端固支梁不发生刚度耦合。

6.根据权利要求1所述的微机械惯性传感器抗温漂结构，其特征在于，微机械惯性传感器中四周分布有多个抗温漂结构，多个抗温漂结构分别位于微机械惯性传感器的四周呈中心对称分布。