[发明专利]介电掺杂且富含锑的GST相变存储器有效
| 申请号: | 201710580652.0 | 申请日: | 2017-07-17 |
| 公开(公告)号: | CN108807453B | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
| 发明(设计)人: | 郑怀瑜;龙翔澜 | 申请(专利权)人: | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/24 | 分类号: | H01L27/24;H01L45/00 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
| 地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 掺杂 富含 gst 相变 存储器 | ||
1.一种相变材料,包含GexSbyTez,其中x、y、z为原子百分比,该相变材料的一Ge原子浓度x为13%至18%,该相变材料的一Sb原子浓度x为18%至32%,该相变材料的一Te原子浓度z为34%至50%,且该相变材料还包含介电添加物,其中该介电添加物的一Si原子浓度为11.3%至17%,该介电添加物的一O原子浓度为0%。
2.一种相变存储器装置,包含:
含多个存储单元的一阵列,该阵列的所述存储单元各别包含一第一电极、一第二电极及具有相变存储材料的一基底,该基底位在该第一电极及该第二电极之间,其中具有相变存储材料的该基底包含Ge、Sb及Te的一组合与一介电添加物,其在总量上足以提供大于160℃的一晶型转变温度;以及
一控制器,耦接至该阵列,该控制器被设置以对该阵列的所述存储单元执行多个设定操作及多个复位操作;
其中该介电添加物的一Si原子浓度为11.3%至17%,该介电添加物的一O原子浓度为0%。
3.如权利要求2所述的相变存储器装置,其中所述复位操作包含等于或低于200微安培(μAmp)的一复位电流。
4.如权利要求2所述的相变存储器装置,其中该阵列具有等于或高于107次周期的一耐受度。
5.一种储存级数据储存的装置,包含:
含多个存储单元的一阵列,该阵列的所述存储单元分别包含一第一电极、一第二电极及具相变存储材料的一基底,该基底位在该第一电极及该第二电极之间,其中具有相变存储材料的该基底包含Ge、Sb及Te的一组合与一介电添加物,其在总量上足以提供大于160℃的一晶型转变温度;以及
一控制器,耦接至该阵列,该控制器被设置以对该阵列中的存储单元执行多个设定操作及多个复位操作,其中所述设定操作包含等于或低于500纳秒(ns)的一设定速度,且所述复位操作包含等于或低于200毫安的一复位电流;
Ge、Sb及Te的该组合包含GexSbyTez,其中x、y、z为原子百分比,一Ge原子浓度x为13%至18%,一Sb原子浓度x为18%至32%,一Te原子浓度z为34%至50%;
该介电添加物的一Si原子浓度为11.3%至17%,该介电添加物的一O原子浓度为0%。
6.如权利要求5所述的储存级数据储存的装置,其中该阵列具有等于或高于107次周期的耐受度。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





