[发明专利]一种基片台

权利要求书

1.一种基片台，包括载片盘（1）以及用来测量基片（70）温度的温度传感器（2），其特征在于：基片台还包括流体输入管（3）、流体输出管（4）以及温控装置（5），所述载片盘（1）上设置有导热腔（11），所述流体输入管（3）一端与所述温控装置（5）的输出口连接，另一端与所述导热腔（11）连通，所述流体输出管（4）一端与所述导热腔（11）连通，另一端与所述温控装置（5）的回流口连接，所述温度传感器（2）安装于所述载片盘（1）上并与基片（70）接触，所述载片盘（1）的旋转轴（12）上设有电滑环（8），所述温度传感器（2）的引线（21）与所述电滑环（8）的动子相连并经电滑环（8）的定子引出。

2.根据权利要求1所述的基片台，其特征在于：所述温度传感器（2）通过一弹性件（22）与基片（70）弹性接触。

3.根据权利要求1或2所述的基片台，其特征在于：基片台还配设有导热气体输入管（6），所述导热气体输入管（6）一端与气源连通，另一端延伸至所述基片（70）靠近所述载片盘（1）的一面。

4.根据权利要求3所述的基片台，其特征在于：所述载片盘（1）的旋转轴（12）为空心轴且于远离所述载片盘（1）的一端设有旋转接头（13），所述流体输入管（3）和流体输出管（4）穿设于所述旋转轴（12）内并通过所述旋转接头（13）与所述温控装置（5）连通；所述温度传感器（2）的引线（21）穿设于所述旋转轴（12）内；所述导热气体输入管（6）穿设于所述旋转接头（13）和所述旋转轴（12）内且与旋转轴（12）同轴布置。

5.根据权利要求1或2所述的基片台，其特征在于：所述载片盘（1）的旋转轴（12）水平的安装于一安装板（7）上，所述载片盘（1）设于一装卸片过渡室（9）内，所述装卸片过渡室（9）的容积小于工艺室（10），所述装卸片过渡室（9）与工艺室（10）之间设有隔离阀门（20），所述旋转轴（12）配设有用于带动载片盘（1）在装卸片过渡室（9）和工艺室（10）之间往复运动的平移驱动机构（30）。

6.根据权利要求5所述的基片台，其特征在于：所述载片盘（1）的旋转轴（12）上还设置有磁流体密封装置（40），所述磁流体密封装置（40）的外周设置有连接法兰（401），所述电滑环（8）位于所述安装板（7）与所述磁流体密封装置（40）之间，所述安装板（7）与所述连接法兰（401）之间设有密封波纹管（50）。

7.根据权利要求6所述的基片台，其特征在于：所述平移驱动机构（30）包括步进电机（301）、联轴器（302）及丝杠（303），所述丝杠（303）穿过所述连接法兰（401）并与连接法兰（401）螺纹配合，所述步进电机（301）通过所述联轴器（302）与所述丝杠（303）连接。

8.根据权利要求6所述的基片台，其特征在于：所述温度传感器（2）的引线（21）依次经过所述电滑环（8）的定子以及所述连接法兰（401）引出。

9.根据权利要求1或2所述的基片台，其特征在于：所述载片盘（1）的旋转轴（12）由一旋转驱动机构（60）驱动旋转，所述旋转驱动机构（60）包括伺服电机（601）、主动齿轮（602）及从动齿轮（603），所述主动齿轮（602）设于所述伺服电机（601）的输出轴上，所述从动齿轮（603）设于所述旋转轴（12）上并与所述主动齿轮（602）啮合。