[发明专利]基板切断系统在审
| 申请号： | 201710569778.8 | 申请日： | 2017-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN108020943A | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | 上野勉 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;G02F1/13 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张刚 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 切断 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种基板切断系统，其中，
所述基板切断系统具备：
切断装置，其用于切除贴合基板的端部，该贴合基板具有在表面形成有用于切除端部的刻划线的第一基板、以及贴合于所述第一基板的背面的第二基板；
检查装置，其对所述贴合基板的端部除去状态进行检查；以及
搬运装置，其将所述贴合基板从所述切断装置向所述检查装置搬运，并在检查后从所述检查装置取出所述贴合基板。
2.根据权利要求1所述的基板切断系统，其中，
所述检查装置具有：
检查部；
载置部，其通过所述搬运装置被供给基板；以及
搬运部，其在所述载置部与所述检查部之间搬运所述基板。
3.根据权利要求1或2所述的基板切断系统，其中，
所述搬运装置将所述贴合基板从所述检查装置向所述切断装置搬运。
4.根据权利要求1或2所述的基板切断系统，其中，
所述搬运装置具有用于搬运所述贴合基板的单一的驱动源。
5.根据权利要求3所述的基板切断系统，其中，
所述搬运装置具有用于搬运所述贴合基板的单一的驱动源。
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