[发明专利]一种基于可变弹性模量的复合薄膜压电微泵

权利要求书

1.一种基于可变弹性模量的复合薄膜压电微泵，其特征在于，包括上盖板(1)、进口阀(2)、上框架(3)、泵膜(4)、下框架(5)、出口阀(6)和下盖板(7)；所述泵膜(4)固定在上框架(3)和下框架(5)之间，形成容积可变的泵腔，该泵膜(4)采用复合薄膜，由第一导电层(31)、第一介质层(32)、第二导电层(33)、驱动电极(34)、第三导电层(35)和第二介质层(36)复合而成，用于实现泵腔容积的扩张与收缩，其中第一介质层(32)采用记忆性材料，驱动电极(34)采用压电材料；所述上盖板(1)固定在上框架(3)上表面，其上设置有进口阀口，通过进口阀(2)控制液体的泵入；所述下盖板(7)固定在下框架(5)下表面，其上设置有出口阀口，通过出口阀(6)控制液体的泵出；所述第二介质层(36)位于泵腔一侧。

2.根据权利要求1所述基于可变弹性模量的复合薄膜压电微泵，其特征在于，所述上盖板(1)、进口阀(2)、上框架(3)、下框架(5)、出口阀((6)、下盖板(7)和第二介质层(36)，均采用疏水性材料。

3.根据权利要求1所述基于可变弹性模量的复合薄膜压电微泵，其特征在于，所述第一导电层(31)、第二导电层(33)和第三导电层(35)，均采用石墨烯材料。

4.根据权利要求1所述基于可变弹性模量的复合薄膜压电微泵，其特征在于，所述第一介质层(32)，采用掺杂有碳纳米管的形状记忆聚合物。

5.根据权利要求1所述基于可变弹性模量的复合薄膜压电微泵，其特征在于，所述第二介质层(36)，采用聚二甲基硅氧烷材料。

6.根据权利要求1所述基于可变弹性模量的复合薄膜压电微泵，其特征在于，所述驱动电极(34)，采用钛酸铋钠基无铅压电陶瓷。