[发明专利]一种采用气相沉积法制备复合石墨片的方法在审
| 申请号： | 201710561525.6 | 申请日： | 2017-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN107473209A | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 任泽明;廖晓飞;王号 | 申请（专利权）人： | 广东思泉新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186;C01B32/21 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司44102 | 代理人： | 罗晓林,杨桂洋 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 采用 沉积 法制 复合 石墨 方法 | ||
1.一种采用气相沉积法制备复合石墨片的方法，包括以下步骤：
将石墨片放置在真空沉积炉中，对该真空沉积炉抽真空形成真空环境；
往真空沉积炉输入CH4气体、O2和惰性气体，该CH4气体、O2和惰性气体分别从三个气体输送管路输入真空沉积炉内，CH4气体、O2和惰性气体的输入量比为（9-10）﹕（2-4）﹕（0.3-0.7），沉积时间为20-26小时，在石墨片表面沉积生成一层石墨烯，即得到包含石墨烯的复合石墨片。
2.根据权利要求1所述的采用气相沉积法制备复合石墨片的方法，其特征在于，所述真空沉积炉的温度保持在900-1000℃，真空度保持在10-4Pa。
3.根据权利要求2所述的采用气相沉积法制备复合石墨片的方法，其特征在于，所述CH4气体、O2和惰性气体的输入量比为10﹕3﹕0.5。
4.根据权利要求3所述的采用气相沉积法制备复合石墨片的方法，其特征在于，所述石墨片悬空放置在真空沉积炉内，使得该石墨片的上表面和下表面都沉积生成有一层石墨烯。
5.根据权利要求4所述的采用气相沉积法制备复合石墨片的方法，其特征在于，所述用于输送气体的三个气体输送管路均装设有流量调节阀。
6.根据权利要求5所述的采用气相沉积法制备复合石墨片的方法，其特征在于，所述惰性气体为Ar气体。
7.根据权利要求6所述的采用气相沉积法制备复合石墨片的方法，其特征在于，所述石墨片为人工合成石墨片或者天然石墨片。
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