[发明专利]切削装置

说明书

提供切削装置，在加工开始前对切削水提供喷嘴是否适当地定位进行确认。切削装置(1)具有：切削单元(4)，其具有对切削刀具(41)提供切削水的冷却喷嘴(46)和喷淋喷嘴(47)；负载电流值检测单元(48)，其对旋转驱动切削刀具的电动机(44)的负载电流值进行检测；和控制单元(9)，其控制切削单元和负载电流值检测单元。控制单元具有：存储部(91)，其将基于在各喷嘴被定位在适当的位置的状态下一边提供规定量的切削水一边使切削刀具按照规定的主轴转速旋转时的电动机的负载电流值的任意的值作为阈值而预先进行存储；和判断部(92)，其根据一边提供规定量的切削水一边使切削刀具按照规定的主轴转速旋转时所检测出的负载电流值与存储部所存储的阈值的比较结果对正常或异常进行判断。

技术领域

本发明涉及切削装置，其一边提供切削水一边利用切削刀具对被加工物进行切削。

背景技术

通过切削装置将半导体晶片或光器件晶片等被加工物沿着间隔道切断。切削装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；切削单元，其包含对保持在卡盘工作台上的被加工物进行切削的切削刀具；以及喷嘴，其向加工中的切削刀具提供切削水，通过旋转的切削刀具将被加工物切断而进行分割。在切削装置中，通过向高速旋转的切削刀具提供切削水，能够对加工热进行冷却，并将因切削产生的切削屑从被加工物洗掉。

但是，当喷嘴的位置被调整至错误的位置而没有将切削水提供到切削刀具的适当的位置时，加工热不会被充分地冷却。因此，产生切削刀具的异常磨损或烧蚀而使加工品质恶化，进而切削刀具或被加工物破损。因此，提出了能够相对于切削刀具调整喷嘴的位置的切削装置(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2006-187849号公报

但是，在这样的切削装置中，当对切削刀具进行更换时等，有时因操作者非本意地接触到喷嘴而使喷嘴产生位置偏移。在该情况下，由于喷嘴的位置偏移较小，所以无法通过目视来确认，一直在冷却不充分的状态下持续进行切削加工，存在引起加工品质的恶化、切削刀具或被加工物的破损的问题。

发明内容

本发明是鉴于该点而完成的，其目的之一在于提供切削装置，其能够在加工开始前对切削水提供喷嘴是否被适当地定位进行确认。

本发明的一个方式的切削装置具有：切削单元，其包含以能够旋转的方式被支承的主轴、对主轴进行旋转驱动的电动机、安装在主轴的前端部的切削刀具以及对切削刀具提供切削水的切削水提供喷嘴；负载电流值检测单元，其对电动机的负载电流值进行检测；以及控制单元，其对切削单元和负载电流值检测单元进行控制，控制单元具有：存储部，其将基于在切削水提供喷嘴被定位在适当的位置的状态下一边提供规定的量的切削水一边使切削刀具按照规定的主轴转速进行旋转时的、由负载电流值检测单元检测出的负载电流值的任意的值作为阈值而预先进行存储；以及判断部，其根据一边提供规定的量的切削水一边使切削刀具按照规定的主轴转速进行旋转时的由负载电流值检测单元检测出的负载电流值与存储部所存储的阈值的比较结果，对正常或异常进行判断。

根据该结构，在被加工物的加工前，将如上述那样切削水提供喷嘴被定位在适当的位置的状态下的任意的负载电流值作为阈值而预先进行存储。并且，在加工时当所检测出的负载电流值从阈值偏移规定的范围的情况下，能够通过判断部来判断为喷嘴位置不适当。由此，能够在被加工物的加工前对切削水提供喷嘴的位置的异常进行把握，避免因切削水提供喷嘴的位置偏移所导致的冷却不足等，能够事先防止加工品质的恶化、切削刀具或被加工物的破损。

优选在存储部中按照每个对被加工物进行加工的器件数据来存储阈值。

根据本发明，在加工开始前，在向旋转的切削刀具提供切削水的状态下对电动机的负载电流值进行检测，能够根据该检测结果对切削水提供喷嘴是否被适当地定位进行确认。

附图说明

图1是本实施方式的切削装置的立体图。

图2是本实施方式的切削单元的主视图。