[发明专利]一种为激光精密加工去除加工碎屑的真空吸尘装置

说明书

本发明涉及一种为激光精密加工去除加工碎屑的真空吸尘装置，包括防尘罩和抽真空过滤装置；工作时，防尘罩的底端的接触面贴合在待加工工件的待加工部位，激光去重装置发出的激光经过增透玻璃、真空腔体后作用于待加工工件的待加工部位，对待加工工件进行去重，抽真空过滤装置对去重过程中产生的粉尘进行吸尘。本发明首次提出了局部包围式的吸尘结构，将加工区域与工件定子与转子之间的间隙隔离开，使得污染源无法进入间隙内，避免了加工过程中对间隙内的污染，真空吸尘装置与加工工件之间接触面的压力小，保证了高速旋转器件转子与定子之间不产生额外的作用力。

技术领域

本发明涉及一种为精密加工去除加工碎屑的真空吸尘装置，为高精度激光去重系统实现污染物质防护及微米级颗粒阻挡防护，属于吸尘技术领域。

背景技术

随着高速旋转器件(例如气浮轴承等)精度和稳定性的不断提高，对转子动平衡的精度和工艺要求也越来越高，动平衡实质上是通过改变转子的质量分布来完成的。激光动平衡机采用脉冲激光代替机械钻头打孔，以去除不平衡转子的偏重部分，完成对转子质心的精密调整。脉冲激光打孔产生的碎屑颗粒小，重量低，易随空气流动漂浮散布，进入工件定子与转子间的气隙，对电机造成损坏，需要设计防尘单元。而工件定子与转子间的配合间隙要求小于5微米，因此需要去除在去重过程中残留在定子与转子间的粉尘颗粒。例如气浮轴承转速可达3万转/分钟，不允许定子与转子间的配合间隙中有任何残留。

传统开放式吸尘方法将吸尘器喇叭口对准产生碎屑的工作位置，依靠吸尘器抽取附近空气形成气流，带动产生的碎屑将其吸入吸尘管道。这种方法具有非常显著的缺点：为扩大吸尘窗口，吸尘器端口使用喇叭口结构，使吸尘的功率分散，一些质量较大的金属碎屑无法吸入吸尘管道，吸尘不彻底，无法去除微米级的粉尘；吸尘端口附近气流复杂，部分碎屑会被对流气流吹动，使污染物质及碎屑颗粒扩散到工作环境中，损坏仪器设备及工作人员的健康。

传统工件全包围式的吸尘方法，需要将工件定子与转子全部放置在真空环境中，污染源与间隙没有进行隔离，粉尘颗粒仍有可能进入工件定子与转子之间的间隙。另外为了保证真空腔室的气密性，通常吸尘装置真空腔与工件间有较大的接触压力，而高速旋转器件转子与定子之间的作用力不允许有超过1N，因此这种吸尘方法不适用于高速旋转器件。如何设计一种全新的吸尘装置，解决高速旋转器件去重过程产生的碎屑污染，是本领域亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足，提出一种为激光精密加工去除加工碎屑的真空吸尘装置，该装置功率更集中，能够去除全部碎屑，且能够阻止污染物质及碎屑颗粒扩散。

本发明目的通过如下技术方案予以实现：

提供一种为激光精密加工去除加工碎屑的真空吸尘装置，包括防尘罩(2)和抽真空过滤装置；

所述防尘罩(2)包括上盖(21)、增透玻璃(22)、真空腔体(23)；所述真空腔体(23)包括位于底端的接触面(34)、腔室(32)、位于顶端的凹槽(31)和位于前端的气道(33)；所述底端的接触面(34)与待加工工件的待加工部位形状匹配，底端的接触面(34)与顶端凹槽(31)之间为通孔形成的腔室；凹槽(31)用于放置增透玻璃(22)；所述上盖(21)用于将增透玻璃(22)固定在凹槽内；气道与抽真空过滤装置的气道相连；

工作时，防尘罩(2)的底端的接触面(34)贴合在待加工工件的待加工部位，激光去重装置(1)发出的激光经过增透玻璃(22)、真空腔体(23)后作用于待加工工件的待加工部位，对待加工工件进行去重，抽真空过滤装置对去重过程中产生的粉尘进行吸尘。

优选的，所述防尘罩(2)还包括螺栓(24)、弹簧(25)；螺栓(24)用于将防尘罩(2)固定至可升降悬臂梁(8)，弹簧(25)套设在螺栓(24)上，在防尘罩(2)与悬臂梁之间。

优选的，所述螺栓(24)共四个，分别连接在真空腔体(23)上端的四角。