[发明专利]一种光刻胶组合物及制备方法

权利要求书

1.一种光刻胶组合物，其特征在于，包括：30-45重量份的树脂、0.02-0.2重量份的背景染料、55-70重量份的有机溶剂；所述树脂包括感光树脂和成膜树脂，所述感光树脂包括重氮萘醌树脂和二苯胺重氮树脂；所述二苯胺重氮树脂与重氮萘醌树脂的质量比为(2-4)：1；

其中，重氮萘醌树脂选自BP207、BP208、BP209、BP210、BP211、BP212、702正胶、703正胶；

所述二苯胺重氮树脂具有以下结构：

其中，n＝2、W为CH₂、R^-为十二烷基磺酸根阴离子、X为甲氧基、Y为硝基、Z为甲基；n＝6、W为CH₂、R^-为均三甲苯磺酸根阴离子、X为氢、Y为硝基、Z为甲基；n＝1000、W为CH₂、R^-为六氟磷酸根阴离子、X为甲基、Y为硝基、Z为乙基；n＝10、W为CH₂、R^-为萘磺酸根阴离子、X为甲基、Y为硝基、Z为甲基；n＝8、W为CH₂、R^-为对甲苯磺酸根阴离子、X为氢、Y为硝基、Z为乙基；n＝100、W为CH₂、R^-为十二烷基苯磺酸根阴离子、X为甲基、Y为硝基、Z为乙基；n＝500、W为CH₂、R^-为均三甲苯磺酸根阴离子、X为甲氧基、Y为硝基、Z为甲基。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物，其特征在于，所述成膜树脂与感光树脂的质量比为(4-6)：1。

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物，其特征在于，所述成膜树脂选自环氧树脂、聚乙烯醇缩醛树脂和聚氨酯树脂中的任意一种或多种的组合。

4.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物，其特征在于，所述有机溶剂选自乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、丙二醇单乙醚、甲乙酮、醋酸丁酯、二氧六环、N-甲基吡咯烷酮、甲醇和四氢呋喃中的任意一种或多种的组合。

5.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物，其特征在于，所述背景染料选自碱性艳蓝、结晶紫、维多利亚纯蓝、靛蓝、甲基紫、孔雀石绿和油溶蓝中的任意一种或多种的组合。

6.如权利要求1～5任一项所述的一种光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将背景染料溶解于有机溶剂，然后加入成膜树脂、重氮萘醌树脂和二苯胺重氮树脂，溶解过滤，得到所述光刻胶组合物。