[发明专利]沉积设备

权利要求书

1.沉积设备，包括：

腔室；

第一级和第二级，在所述腔室内分别支承衬底；

蒸发源组件，在与所述第一级对应的第一级区和与所述第二级对应的第二级区之间移动，并且包括多个喷嘴，其中，源材料通过所述多个喷嘴喷射；以及

拍照组件，定位在所述第一级与所述第二级之间，并设置在所述蒸发源组件的移动路径上，为在所述第一级区和与所述第二级区之间移动的所述多个喷嘴拍照，以使得所述蒸发源组件在所述第一级区和与所述第二级区之间移动期间移动而不停止，

其中所述拍照组件不与所述衬底重叠。

2.根据权利要求1所述的设备，还包括：

控制器，基于从所述拍照组件提供的图像数据确定所述多个喷嘴的阻塞状态。

3.根据权利要求2所述的设备，还包括：

驱动组件，移动所述蒸发源组件。

4.根据权利要求3所述的设备，其中，所述蒸发源组件还包括：

蒸发容器，容纳所述源材料；

热反射板，所述多个喷嘴布置在所述热反射板上，以及所述热反射板覆盖所述蒸发容器；以及

加热单元，加热所述源材料。

5.根据权利要求4所述的设备，其中，所述控制器包括：

图像分析单元，分析所述图像数据；

驱动控制器，控制所述驱动组件以使得所述蒸发源组件在所述第一级区与所述第二级区之间移动；以及

加热控制器，控制所述加热单元的加热程度。

6.根据权利要求5所述的设备，其中，当确定所述多个喷嘴中的预定数目或者更多数目的喷嘴被阻塞时，所述控制器控制所述加热单元辐射热量。

7.根据权利要求5所述的设备，还包括：

显示单元，显示所述多个喷嘴的所述阻塞状态。

8.根据权利要求7所述的设备，其中，当所述多个喷嘴中的任意一个喷嘴的喷嘴开口区的阻塞程度等于或者大于参考值时，所述控制器通过所述显示单元作出警告。

9.根据权利要求1所述的设备，其中，

所述多个喷嘴设置成至少一个喷嘴行；

所述拍照组件的拍照次数与包括在一个所述喷嘴行中的喷嘴的数目对应。

10.根据权利要求2所述的设备，其中，所述控制器控制所述拍照组件以使得每当所述蒸发源组件在所述第一级区与所述第二级区之间移动时所述拍照组件以预定定时拍照。

11.根据权利要求1所述的设备，其中，所述拍照组件还包括：

壳体，所述壳体内限定有内部空间；

多个相机单元，设置在所述壳体内；

照明单元，与所述多个相机单元对应；以及

观测窗，设置在所述壳体的面对所述蒸发源组件的前表面上。

12.根据权利要求11所述的设备，其中，所述壳体的内侧维持在大气压状态下。

13.根据权利要求11所述的设备，其中，

所述多个喷嘴设置成至少一个喷嘴行；

所述相机单元的数目与布置在所述蒸发源组件中的所述喷嘴行的数目相同。

14.根据权利要求11所述的设备，还包括：

遮板单元，设置在所述蒸发源组件与所述拍照组件之间，以及打开和关闭与所述观测窗对应的区。

15.根据权利要求14所述的设备，还包括：

覆盖玻璃单元，在所述拍照组件与所述遮板单元之间可拆卸。

16.根据权利要求11所述的设备，还包括：

防粘附板，防止所述源材料接触除与所述观测窗对应的区以外的区。