[发明专利]压电元件有效
申请号: | 201710547890.1 | 申请日: | 2017-07-06 |
公开(公告)号: | CN107591476B | 公开(公告)日: | 2020-06-19 |
发明(设计)人: | 太田佳生;佐佐木诚志;太田义明;毛塚贵大;稻叶胜也;佐藤琳;立本一志;井上正良;小松雄三 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社 |
主分类号: | H01L41/083 | 分类号: | H01L41/083;H01L41/047;H01L41/04 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;陈明霞 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 元件 | ||
1.一种压电元件,其特征在于:
该压电元件具备3层以上的电极层和2层以上的压电体层被交替层叠的层叠体,
所述电极层具备经由间隙排列的第1图案和第2图案,
所述层叠体具有包含被贯穿设置在重叠于所述电极层的一面上的第1压电体层的第1通孔导体、和被贯穿设置在重叠于该电极层的另一面上的第2压电体层的第2通孔导体的层叠部分,
所述第1通孔导体和所述第2通孔导体电连接于所述第1图案以及所述第2图案中的任一者,
在所述层叠部分中,
所述第1通孔导体在所述第2压电体层侧的端面上具有第1低洼部,并且所述第2压电体层具有进入到所述第1低洼部的突部,
所述第2通孔导体在所述第1压电体层侧的端面上具有第2低洼部,并且所述第1压电体层具有进入到所述第2低洼部的突部。
2.如权利要求1所述的压电元件,其特征在于:
具有在施加电压的时候在压电体层产生电场而变形的活性部、和在施加电压的时候在压电体层不产生电场的非活性部,
所述层叠部分位于所述非活性部,
从所述层叠体的层叠方向观察,所述第1通孔导体和所述第2通孔导体沿着所述活性部和所述非活性部的排列方向相邻接。
3.如权利要求1或者2所述的压电元件,其特征在于:
所述第1通孔导体的厚度薄于所述第1压电体层的厚度,或者,所述第2通孔导体的厚度薄于所述第2压电体层的厚度。
4.一种压电元件,其特征在于:
具备具有层叠部分的层叠体,所述层叠部分包含一对电极层、介于该一对电极层之间的压电体层、和被贯穿设置于该压电体层的通孔导体,
所述电极层具备经由间隙排列的第1图案和第2图案,所述通孔导体电连接于所述第1图案以及所述第2图案中的任一者,
在所述层叠部分中,所述通孔导体的所述层叠体的层叠方向上的端部形成有低洼部,
在所述层叠部分具有接近于所述通孔导体的所述低洼部的空隙。
5.如权利要求4所述的压电元件,其特征在于:
具有在施加电压的时候在压电体层产生电场而变形的活性部、和在施加电压的时候在压电体层不产生电场的非活性部,
所述层叠部分位于所述非活性部。
6.如权利要求4或者5所述的压电元件,其特征在于:
所述通孔导体的端面的面积小于所述层叠体的层叠方向上的所述通孔导体的中心位置处的截面的面积。
7.一种压电元件,其特征在于:
具备具有层叠部分的层叠体,所述层叠部分包含一对电极层、介于该一对电极层之间的压电体层和被贯穿设置于该压电体层的通孔导体,
所述电极层具备经由间隙排列的第1图案和第2图案,所述通孔导体电连接于所述第1图案以及所述第2图案中的任一者,
在所述层叠部分中,所述通孔导体的所述层叠体的层叠方向上的两个端部分别形成有低洼部。
8.如权利要求7所述的压电元件,其特征在于:
具有在施加电压的时候在压电体层产生电场而变形的活性部和在施加电压的时候在压电体层不产生电场的非活性部,
所述层叠部分位于所述非活性部。
9.如权利要求7所述的压电元件,其特征在于:
所述压电体层具有进入到所述通孔导体的所述低洼部的突部。
10.如权利要求8所述的压电元件,其特征在于:
所述压电体层具有进入到所述通孔导体的所述低洼部的突部。
11.如权利要求7~10中任一项所述的压电元件,其特征在于:
所述通孔导体的所述两个端部的端面的面积小于所述层叠体的层叠方向上的所述通孔导体的中心位置处的截面的面积。
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