[发明专利]一种能同时进行多束激光稳频的法布里珀罗腔装置

权利要求书

1.一种能同时进行多束激光稳频的法布里珀罗腔装置，包括超低热膨胀系数材料腔体，其特征在于，超低热膨胀系数材料腔体位于真空腔内，超低热膨胀系数材料腔体内设置有多个法布里珀罗腔，每个法布里珀罗腔对应一个入射腔镜、一个出射腔镜、一个入射玻窗、一个出射玻窗、一个光电探测器、一个计算控制器、一个待稳激光器、一个通道第一反射镜、一个透镜和一个通道第二反射镜，入射玻窗和出射玻窗设置在真空腔上，入射腔镜和出射腔镜设置在法布里珀罗腔两端，待稳激光器的出射激光依次经过通道第一反射镜、透镜、通道第二反射镜、入射玻窗、入射腔镜、法布里珀罗腔、出射腔镜、出射玻窗后由光电探测器进行探测获得透射峰，计算控制器控制待稳激光器对出射激光进行调制使得出射激光对应的透射峰最大，透镜使得出射激光的束腰的位置和大小与法布里珀罗腔的束腰的位置和大小相同，且出射激光的束腰的位置位于入射腔镜的中心。

2.根据权利要求1所述的一种能同时进行多束激光稳频的法布里珀罗腔装置，其特征在于，所述的法布里珀罗腔为四个且呈两横两纵分布，且四个法布里珀罗腔的光轴均在同一水平高度。

3.根据权利要求1所述的一种能同时进行多束激光稳频的法布里珀罗腔装置，其特征在于，所述的真空腔内压强为10^-6pa以下。

4.根据权利要求1所述的一种能同时进行多束激光稳频的法布里珀罗腔装置，其特征在于，还包括用于控制真空腔内温度的温度控制器。

5.根据权利要求4所述的一种能同时进行多束激光稳频的法布里珀罗腔装置，其特征在于，所述的温度控制器控制真空腔内温度稳定在超低热膨胀系数材料腔体的拐点温度±10mK。