[发明专利]一种动态调节脉冲能量与时间间隔的激光加工方法及装置

权利要求书

1.一种动态调节脉冲能量与时间间隔的激光加工装置，其特征在于，包括激光器、扩束准直镜(M1)、电动衰减片转轮(Z1)、电动相位延迟片转轮(Z2)、一个或多个反射镜(M2)和聚焦物镜(M3)；

所述电动衰减片转轮(Z1)的结构与电动相位延迟片转轮(Z2)的结构相同，两者均带有循环水冷机构和气帘风冷机构，同时还均与一电动旋转机构相连，所述电动旋转机构编程可控，用于分别驱动电动衰减片转轮(Z1)以及电动相位延迟片转轮(Z2)绕其中心轴线旋转；

所述电动衰减片转轮(Z1)和电动相位延迟片转轮(Z2)两者均呈圆盘形，圆盘的边沿内侧沿圆周方向均匀设置有多个尺寸相同的圆形安装孔(11)，多个圆形安装孔(11)的圆心位于同一圆周上；多个圆形安装孔(11)的中心轴线与电动衰减片转轮(Z1)以及电动相位延迟片转轮(Z2)的中心轴线平行；

所述电动衰减片转轮(Z1)的多个圆形安装孔(11)上分别安装有多个激光衰减片，多个激光衰减片的安装方位使得所述多个激光衰减片的中心轴线，以及电动衰减片转轮(Z1)的中心轴线均相互平行；所述多个激光衰减片的衰减值互不相同；

所述多个激光衰减片在多个圆形安装孔(11)的安装顺序是：将多个激光衰减片按衰减值大小排序，即以顺时针方向按照衰减值从大到小或从小到大的次序依次安装在多个圆形安装孔(11)上；

所述电动相位延迟片转轮(Z2)的多个圆形安装孔(11)上分别安装有多个相位延迟片，多个相位延迟片的安装方位使得所述多个相位延迟片的中心轴线，以及电动相位延迟片转轮(Z2)的中心轴线均相互平行；所述多个相位延迟片的相位延迟值互不相同；

所述多个相位延迟片在多个圆形安装孔(11)的安装顺序是：将多个相位延迟片按相位延迟值大小排序，即以顺时针方向按照相位延迟值从大到小或从小到大的次序依次安装在多个圆形安装孔(11)上；

激光器发出的加工激光束入射至扩束准直镜(M1)，经扩束准直镜(M1)的扩束准直后，垂直入射至电动衰减片转轮(Z1)上的一个衰减片，经衰减片的衰减后，垂直入射至电动相位延迟片转轮(Z2)上的一个相位延迟片，经相位延迟片的延迟后，经反射镜(M2)反射后进入聚焦物镜(M3)，由聚焦物镜(M3)输出后聚焦在工件表面。